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等离子监视器

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产品型号Z5PM系列

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更新时间：2023-03-07 15:02:18浏览次数：222次

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产品简介

品牌:欧姆龙产品名称:等离子监视器型号:Z5PM系列监测2波长的等离子发光量

详细介绍

品牌: 欧姆龙
产品名称: 等离子监视器
型号: Z5PM系列
监测2波长的等离子发光量。
实现了、小型化、低价格。
轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测。
轻公地进行蚀刻、清洁的等离子发光的监测。
通过用过滤方式检测2波长，实现小型化、低价格。

E3F3-R87M检测方式：回归反射型，
导线引出式：M12 CN，
类型：金属外表；PNP输出，
螺纹柱状光电传感器，放大器内置，
具备接近传感器外观的光电传感器
具有光电-IC技术的高抗干扰性种类：交流2线式，屏蔽型欧姆龙Z5PM系列。
形状：M18。
检测距离：5mm。
连接方式：M12 接插件型Z5PM系列
导线规格：-。
动作模式NC。
接近传感器的的性能和品质。
磁性金属有无检测的标准型。
品种丰富。
可根据条件选择适用机型。
防相互干扰功能的异频机型品种齐全。
具有优异的耐环境性能。
标准导线的材质为耐油PVC欧姆龙Z5PM系列。
检测面采用耐切削油材质。
标准采用导线护套。恶劣环境下也不易损坏的接近传感器。
全不锈钢机架。
耐铝碎屑。
可嵌入安装至金属（铁）中。
由欧洲Ecolab公司认证的耐化学药品性。
备有导线引出型、直流3线NPN输出、氟树脂涂层型。E3Z-D61检测方式:扩散反射型。
连接方式:导线引出式（2m）3、4欧姆龙Z5PM系列。
检测距离:5m -100mm (广视野）。
输出方式：NPN输出。
实现小型、长距离、节省电力和
节省能源的光电传感器的标准型
E3ZM-LS89H检测形式：BGS反射型，
连接方式：连接器型（M8·4极） 4，
输出方式：PNP输出，
不锈钢外壳E3F3-D31 检测方式：扩散反射型，
导线引出式：导线引出式，
类型：塑料外表；PNP输出，
螺纹柱状光电传感器，放大器内置，
具备接近传感器外观的光电传感器
具有光电-IC技术的高抗干扰性该放大器分离式接近传感器可轻松调整灵敏度以检测非磁性金属欧姆龙等离子监视器。
检测非磁性金属（铝、铜等）。
还备有小型扁平型传感头(E2CY-V3A)、耐药品用氟树脂型 (E2CY-C2AF)欧姆龙等离子监视器。
可以轻松调整灵敏度（单触示教）。
数值化的检测状态一目了然（数字显示）。
名称：传感器。
形状：屏蔽，φ5.4。
稳定检测距离：1.5mm欧姆龙等离子监视器。晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无）。实现小型、长距离、节省电力和节省能源的光电传感器的标准型
检测距离/对对射型15m、回归反射型4m、扩散反射型1mZ5PM系列。
的防止外部乱光计算方法，变频荧荧光灯下也能工作欧姆龙Z5PM系列。
1、大限度降低电力消耗和含铅材质的使用。
2、IP67保护构造，防止相互干扰功能， EN规格标准。防油型为IP67f。
3、光轴与机械轴的偏差控制在正负2.5°以内，光轴对合更容易。

关键词：监视器传感器