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无锡市三环仪器有限公司
概要MARK3系列是在未改变质量流量控制器所必须的品质特性的条件下实现成本降低的量产产品
SEC-400MK3 | |
气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He |
流量控制范围 | 5〜100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±2.0% F.S.(满量程) |
SEC-500MK3 | |
气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 10/20 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He |
流量控制范围 | 5〜100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±2.0% F.S.(满量程) |
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