PURERON陶瓷气体过滤器PGF

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更新时间：2024-01-19 13:14:44浏览次数：231次

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上海连航机电科技有限公司

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产品简介

具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器，高水平的去除气体管道内的粒子，同时实现高选择性

详细介绍

具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器，高水平的去除气体管道内的粒子，同时实现高选择性。（可以满足200℃高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下）

对于亚微米LSI工艺，须向使用点供应高纯度工艺气体。为此，超清洁管道也是一个主要问题。为了满足这些要求，Pureron Japan开发了使用陶瓷作为过滤元件的全新过滤器，并在稳定条件下实现了0.003μm的高精度过滤。蚀刻和薄膜所需的高选择性。
去除诸如水和氧的杂质对于寻求高选择性是非常重要的。为了确保去除杂质，高温烘烤是的。Pureron Japan的陶瓷过滤器就是从这个角度开发的，可以在200°C下进行高温烘烤。通过免维护操作降低成本。
三层过滤结构，取决于颗粒直径的大小，很少产生堵塞。与传统过滤器相比，陶瓷过滤器还具有良好的耐久性和耐热性。因此，生产停工造成的损失很小，实现了长期成本降低。