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MKS P250A金属密封的多气体/多量程质量流量控制器

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更新时间：2023-10-14 11:58:51浏览次数：100次

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产品简介

高性能，大流量250slm质量流量控制器P250A是金属密封的多气体/多量程质量流量控制器，能够在100至250slm的氮气满量程流量范围内运行，并具有的控制阀设计，可实现快速的设定点响应，同时保持封闭的电导率泄漏率远低于其他高流量MFC

详细介绍

高性能，大流量250 slm质量流量控制器

P250A是金属密封的多气体/多量程质量流量控制器，能够在100至250 slm的氮气满量程流量范围内运行，并具有的控制阀设计，可实现快速的设定点响应，同时保持封闭的电导率泄漏率远低于其他高流量MFC。P250A具有快速的建立时间（不到2秒）和1％的设定点精度，胜过其他典型的高流量MFC。

· 流速从100到250 slm

· 设定值精度为1％的多气体/多量程

· 模拟量I / O：0至5 VDC，4至20 mA

· 数字量I / O：DeviceNet，RS485，Profibus

技术指标

满量程流量范围	100至250 slm（相当于N2）	温度显示	0至85°C
入口压力	150磅/平方英寸	温度精度	±2°摄氏度
正常工作压力差	25至45 psid（在MFC出口处为大气压）	温度分辨率	0.1°摄氏度
耐压	1000磅/平方英寸	显示	数值为4位数字，单位为4个字符
爆破压力	1500磅/平方英寸	配件类型	世伟洛克®8VCR®
控制范围	满量程的2％至100％	外部泄漏完整性	<1 x 10 ^-10（scc / sec He）
典型精度	满量程的20％至100％时为设定值的±1％满量程的2％至20％时为满量程的±0.2％	封闭阀的泄漏完整性	在40 psia至vac（<500 mTorr）时，小于已配置满量程的1.0％
重复性	读数的±0.3％	湿材料	316L SS VAR，316 SS，Elgiloy，430FR，Buna-N，镍，聚酰亚胺
解析度	读数的0.1％	表面处理	平均Ra 10 µinch
零温度系数	<满量程的0.05％/°C	重量	3磅（1.4公斤）
跨度温度系数	<读数的0.08％/°C	合规	符合89/336 / EEC的CE
进气压力系数	<读数的0.02％/ psi	所需的DeviceNet输入功率	每个DeviceNet™规格为+11至+25 VDC（@ <9瓦）
典型建立时间	50 psi以下时，通常在10％满刻度以上<3秒（典型值）	DeviceNet连接器	5针微连接器
热身时间	30分钟	DeviceNet数据速率开关选择	4个位置：125、250、500K（默认），GM（可通过网络编程）
工作温度	10°至50°C	DeviceNet网络规模	多达64个节点
储存湿度	0至95％相对湿度，无凝结	DeviceNet网络拓扑	同一网络电缆上的线性（中继线/吊线）电源和信号
贮存温度	-20°至80°C

特征

简短的流程步骤性能

P250A的快速建立时间（少于2秒）和一（1）％的设定点精度的性能超过了其他典型的高流量MFC。控制能力可降低至设备配置的满量程的2％。这些功能与设备的多气体/多量程功能相结合，扩展了用户的能力，可将MOCVD，硅外延，RTP和扩散/氧化应用所需的高流量MFC库存降至。

多气体/多量程功能

通过设备的嵌入式软件和标准以太网接口，无需使用特殊软件或硬件即可运行，只需一个标准Web浏览器和一台PC，即可轻松实现多气体/多量程功能的使用。对于使用中的典型高流量气体，已经在设备上存储了重要的气体参数。只需选择气体并满量程流量范围即可配置设备。该界面还允许用户执行设备诊断，绘制流程并存储数据以进行离线分析。