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南京覃思科技有限公司
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Q300T ES Plus大腔室高真空离子溅射和热蒸发一体化镀膜仪
Q300T ES Plus大腔室高真空离子溅射和热蒸发一体化镀膜仪
Q300T ES Plus是集成了离子溅射和热蒸镀两种镀膜方式的镀膜系统。作为成功的Q系列溅射/碳镀膜仪家族的一员，Q300T ES Plus是一个大腔室涡轮分子泵抽真空的镀膜系统，非常适合在大直径样品或多个较小试样上进行金属蒸发镀膜，Q300T ES Plus还配备了可互换的溅射头和碳蒸发头。
Q300T ES Plus在大的工作腔室内组合了离子溅射、金属蒸发和碳蒸镀系统。镀膜头可以在数秒钟内更换，智能逻辑系统自动识别哪个镀膜头已就位，并显示相应的操作设置。涡轮分子泵真空系统，电容触摸屏控制，高分辨率离子溅射镀膜、高真空碳棒镀膜/金属蒸发镀膜；设有LED状态指示灯。标配快速释放离子溅射镀膜头和直径57mm x 0.1mm的铬靶、快速释放金属蒸发镀膜头，镀膜头可互换。标配直径50毫米的晶圆样品台。配有用于高真空测量的全量程真空规组件。
有关采用三靶镀制大面积相同材料的膜层，请参阅Q300T T Plus。其它大腔室镀膜仪，请参阅K975X/K975S以及Q300T D Plus。
仪器特点：
• 电容式触摸屏，灵敏度高，更易触控使用
• 用户界面软件全面更新，使用现代智能手机技术界面
• 全面的文字帮助页面
• USB接口可轻松进行软件更新，也可将配方文件备份/复制到USB存贮器
• log文件格式为.csv，内含日期、时间和工作参数，可导出至Excel或类似软件中分析
• 允许多用户输入和储存镀膜方案，并可根据最近的使用情况来排列每个用户的配方
• 双核ARM处理器，可实现快速响应的显示；带触摸屏按钮的全图形界面，包括最近使用的1000个镀膜日志和维护到期时的提醒等功能
• 全量程真空规
• 集成的离子溅射、金属蒸发和碳蒸镀一体化系统
• 可选膜厚监控附件（FTM），可选高腔室
• 大而多色的LED指示灯，实现可视化状态指示；程序完成后具有音频声音提示
推荐应用：
• 在大直径样品或多个较小试样上进行金属蒸发镀膜
• 高分辨镀膜，SEM应用
• EDX, WDS, EBSD镀碳
Q300T ES Plus是英国Quorum出品的国际认可的Q系列镀膜仪的一部分，数千家客户使用此类镀膜仪。Q系列旨在为SEM、TEM和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案，Q系列功能多样、价格合理且易于使用。这些产品科研用途。
Q Plus系列镀膜仪也有较小腔室的版本，请参阅：Q150R Plus、Q150T Plus以及Q150V Plus；SC7620和Q150GB也是可选的型号。
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