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薄膜激光刻蚀机

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更新时间:2022-12-01 17:02:04浏览次数:212次

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产品简介

设备特点1、激光蚀刻为干式蚀刻,加工制程简单,所有加工均由软件自动控制,产品一致性高,良率高达99%

详细介绍

设备特点

1、激光蚀刻为干式蚀刻,加工制程简单,所有加工均由软件自动控制,产品一致性高,良率高达99%。

5、激光蚀刻机5万小时无耗材,免维修,使用成本低,替代黄光制程。

 

应用行业

1.电阻式、电容式触摸屏银浆线路蚀刻、修复;

2.ITO及各类金属导电膜线路激光蚀刻;

3.PCB行业薄膜电路光刻掩膜板激光蚀刻成型;

4.太阳能光伏硅基板薄膜电路蚀刻。

 

技术参数

激光器

光纤激光器

紫外激光器

激光波长

1064nm

532nm

激光功率

10/20W

10W

聚焦光斑

≤0.02mm

激光频率调节范围

20K-100KHz

刻蚀线宽

20μm

刻蚀速度

4000mm/s(视材料、参数而定)

加工范围

500mmX500mm(可根据客户要求定制)

单次幅面

140mmX140mm  (可选配)

功率消耗

<2KW

CCD自动定位精度

±2μm

直线电机工作台定位精度

±2μm

直线电机工作台重复精度

±1um

设备尺寸

1650mmL×1300mmW×1670mmH

设备重量

2000kg

        铝薄膜激光刻蚀                     镀金玻璃激光刻蚀

                                  ITO激光刻蚀                铜薄膜激光刻蚀

         银浆激光刻蚀                   FTO激光刻蚀


关键词:工作台
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