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ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18特点:改善DieBonding改善WireBonding改善锡球焊接改善倒装底部填充(FCUnderfill)改善塑封(Molding)/封胶ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18选项:进口干泵系统(含相关附件)信号灯塔-红黄绿三色额外的处理气体线路-最多至4路气体旋转台-φ200mm
ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18特点: |
改善Die Bonding |
改善Wire Bonding |
改善锡球焊接 |
改善倒装底部填充(FC Underfill) |
改善塑封(Molding)/封胶 |
ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18选项: |
进口干泵系统(含相关附件) |
信号灯塔-红黄绿三色 |
额外的处理气体线路-最多至4路气体 |
旋转台-φ200mm,旋转速度可调 |
ECR机构 |
包装,运输 |
ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18规格: |
等离子源 | 2.45Ghz微波等离子源,600W |
腔体 | 铝.长250mm,宽250mm,深290mm,18L |
外观尺寸 | 长530mm,宽600mm,高550mm |
处理气体 | 1路气体+数字MKS流量控制器 |
真空腔门 | 铰链门+观察窗 |
观察窗 | UV与微波屏蔽保护 |
GUI 7"触摸屏 | Window CE操作系统 |
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