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AL76Compact等离子清洗机特点:改善DieBonding改善WireBonding改善锡球焊接改善倒装底部填充(FCUnderfill)改善塑封(Molding)/封胶AL76Compact等离子清洗机选项:进口干泵系统(含相关附件)信号灯塔-红黄绿三色额外的处理气体线路-最多至4路气体旋转台-φ350mm
AL76 Compact等离子清洗机特点: |
改善Die Bonding |
改善Wire Bonding |
改善锡球焊接 |
改善倒装底部填充(FC Underfill) |
改善塑封(Molding)/封胶 |
AL76 Compact等离子清洗机选项: |
进口干泵系统(含相关附件) |
信号灯塔-红黄绿三色 |
额外的处理气体线路-最多至4路气体 |
旋转台-φ350mm,旋转速度可调 |
ECR机构 |
包装,运输 |
AL76 Compact等离子清洗机规格: |
等离子源 | 2.45Ghz微波等离子源,1200W |
腔体 | 铝.长400mm,宽400mm,深490mm,76L |
外观尺寸 | 长1050mm,宽800mm,高2020mm(含信号灯塔) |
处理气体 | 3路气体+数字MKS流量控制器 |
真空腔门 | 铰链门/抽屉式双功能+观察窗 |
观察窗 | UV与微波屏蔽保护 |
GUI 10.4"触摸屏 | Window CE操作系统 |
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