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MALCOM静止型回流炉装置RDT-250EC特点:节省空间的独立式高性能回流炉通过采用矩阵加热器
MALCOM静止型回流炉装置RDT-250EC特点: |
节省空间的独立式高性能回流炉 |
通过采用矩阵加热器,可以针对每个区域调节加热强度 凭借较高的Δt 性能,该单元可以实现各种轮廓 |
使用触摸面板控制器时,只能从主机上进行操作 |
通过查看加热器配置,功耗已降低了约 50% |
支持温度 400℃ |
MALCOM静止型回流炉装置RDT-250EC规格参数: |
対象基板尺寸 | 250W×330L㎜以下 高さ 保持面上下共15mm以下 |
装置尺寸 | 773W×863D×1417H mm |
加熱方式 | 上面 :热风、远红外线辐射并用 下面:远红外线辐射(选项) |
冷却方式 | 外部气体(氮气或空气)通过导入(排气口连动) 附带冷却用流量调整阀门 |
電源 | 3相 200V 50/60Hz 10kVA |
外部气体 | 0.3~0.5MPa 100L/min(MAX) |
炉内氧浓度 (氮气使用时) | 100ppm |
基板托盘 | |
上面加熱 | 热风、远红外线加热器:7.2kW(約240W×30格) ※可对基准模组进行偏差设定 |
下面加熱(选项) | |
温度精度 | 常温~80℃ :±3℃ 80℃~400℃:±2℃ |
測定温度 | 常温~400℃ |
測定点数 | 6点 |
窒素供給機能 | 流量调整阀门:100ℓ/min |
制御用専用ソフト | 対応OS:Windows 8.1/10 |
装置重量 | 約140㎏ |
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