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4轴水平多关节型洁净机械手臂特点:超洁净间用多轴型,4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列适用于支持300mm的半导体制造装置内,检查装置等的晶圆搬运机械手臂标准臂长:210mm,280mm机械手臂可以单独对应2个FOUP适应设备需求可以选择底座固定方式
4轴水平多关节型洁净机械手臂特点: |
超洁净间用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列 |
适用于支持300mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运 |
机械手臂标准臂长:210mm, 280mm |
机械手臂可以单独对应2个FOUP |
适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式 |
全轴采用值编码器规格的AC伺服电机 |
S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运玻璃基板 |
AC伺服电机的采用以及,对运动轨迹的优化实现了搬运动作的高速化 |
比GHR4000类型速度快了1.8倍 |
晶圆固定方式:真空吸附式, 下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式 |
手指材质:CFRP(碳纤维), 铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质 |
可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供的手指 |
4轴水平多关节型洁净机械手臂基本参数: |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 400mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬运质量 | 4kg (手臂第3关节处基准) |
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