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4轴机械臂4轴水平多关节型洁净机械手臂

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海

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更新时间:2024-06-11 09:50:25浏览次数:125次

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产品简介

4轴水平多关节型洁净机械手臂特点:超洁净间用多轴型,4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列适用于支持300mm的半导体制造装置内,检查装置等的晶圆搬运机械手臂标准臂长:210mm,280mm机械手臂可以单独对应2个FOUP适应设备需求可以选择底座固定方式

详细介绍

4轴水平多关节型洁净机械手臂特点: 


超洁净间用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列

适用于支持300mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运

机械手臂标准臂长:210mm, 280mm

机械手臂可以单独对应2个FOUP

适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴采用值编码器规格的AC伺服电机

S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运玻璃基板

AC伺服电机的采用以及,对运动轨迹的优化实现了搬运动作的高速化

比GHR4000类型速度快了1.8倍

晶圆固定方式:真空吸附式, 下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式

手指材质:CFRP(碳纤维), 铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供的手指


4轴水平多关节型洁净机械手臂基本参数


使用环境

洁净间内的大气环境

手臂

单臂

到达距离

400mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬运质量

4kg (手臂第3关节处基准)




如需详细产品参数 请联系我们


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