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5轴机械臂5轴水平多关节型洁净机械手臂

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

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更新时间:2024-06-11 09:51:39浏览次数:121次

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产品简介

5轴水平多关节型洁净机械手臂特点:可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能适用于300mm半导体生产设备内部

详细介绍

5轴水平多关节型洁净机械手臂特点: 


可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列

单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能

适用于300mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运

机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm

机械手臂可以单独对应2个FOUP(210mm臂长)

或者3个FOUP(280mm臂长)

双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间

适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴采用值编码器规格的AC伺服电机

通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化

能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式

手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供的手指


5轴水平多关节型洁净机械手臂基本参数


使用环境

洁净间内的大气环境

手臂

单臂

到达距离

553mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬运质量

4kg (手臂第3关节处基准)




如需详细产品参数 请联系我们


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