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4轴机械臂4轴圆柱坐标洁净机械手臂

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更新时间:2024-06-12 08:11:57浏览次数:70次

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产品简介

4轴圆柱坐标洁净机械手臂特点:超洁净无尘间用300mm晶圆对应MTCR4000系列适用于半导体生产设备内部

详细介绍

4轴圆柱坐标洁净机械手臂特点: 


超洁净无尘间用300mm晶圆对应MTCR4000系列

适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运

全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求

比MTHR系列具有更好的性价比优势

机械手臂标准臂长:160mm, 200mm

双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间

适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴采用值编码器规格的AC伺服电机

S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式

手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供的手指


4轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数


使用环境

洁净间内的大气环境

手臂

双臂

到达距离

315mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬运质量

4kg (手臂第3关节处基准)




如需详细产品参数 请联系我们


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