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3轴机械臂小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海

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更新时间:2024-06-12 08:15:17浏览次数:67次

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经营模式:其他

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产品简介

小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点:超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列适用于半导体生产设备内部

详细介绍

小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点: 


超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列

适用于半导体生产设备内部,检测设备等小尺寸晶圆的搬运,通过优化机械手臂的空间尺寸,

有利于实现设备的小型化

机械手臂标准臂长:90mm

同SSCR2090S-PM兼容,连杆式手臂,可以定制没有Z轴模块的机械手臂

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴使用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式:真空吸附式,下托式

手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供的手指


小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂基本参数


使用环境

洁净间内的大气环境

手臂

单臂

到达距离

175mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

150mm

可搬运质量

0.1kg (只包含被搬运物体)(手臂第3关节处基准)




如需详细产品参数 请联系我们


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