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4轴机械臂带翻转机构的4轴圆柱坐标洁净机械手臂

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海

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更新时间:2024-06-12 08:16:30浏览次数:62次

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经营模式:其他

商铺产品:635条

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产品简介

带翻转机构的4轴圆柱坐标洁净机械手臂特点:使用了JEL制造的伯努利原理机械手指

详细介绍

带翻转机构的4轴圆柱坐标洁净机械手臂特点: 


使用了JEL制造的伯努利原理机械手指,可吸附减薄晶圆

具有较高的刚性,手臂的第三关节可以承受3kg的负载(包括手指和搬运物)

采用了步进电机驱动,能够有效地降低耗电量有利于节能

双机械手指结构,能够缩短晶圆的交换时间

双臂带翻转机构的

可以根据客户设备的布局,选择法兰固定方式或者底座固定方式


带翻转机构的4轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数


使用环境

洁净间内的大气环境

手臂

双臂

到达距离

315mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm

可搬运质量

3kg (手臂第3关节处基准)




如需详细产品参数 请联系我们

关键词:步进电机

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