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上海衡鹏企业发展有限公司
带翻转机构的4轴圆柱坐标洁净机械手臂特点:使用了JEL制造的伯努利原理机械手指
带翻转机构的4轴圆柱坐标洁净机械手臂特点: |
使用了JEL制造的伯努利原理机械手指,可吸附减薄晶圆 |
具有较高的刚性,手臂的第三关节可以承受3kg的负载(包括手指和搬运物) |
采用了步进电机驱动,能够有效地降低耗电量有利于节能 |
双机械手指结构,能够缩短晶圆的交换时间 |
双臂带翻转机构的 |
可以根据客户设备的布局,选择法兰固定方式或者底座固定方式 |
带翻转机构的4轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数: |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 双臂 |
到达距离 | 315mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴行程 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm |
可搬运质量 | 3kg (手臂第3关节处基准) |
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