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3轴机械臂真空3轴圆柱坐标型机械手臂

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海

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更新时间:2024-06-12 08:18:38浏览次数:75次

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产品简介

真空3轴圆柱坐标型机械手臂特点:真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系

详细介绍

真空3轴圆柱坐标型机械手臂特点: 


真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系。适用于真空腔室内的晶圆搬运

相比SVHR系列机械手臂,可搬运质量提升2倍,具有较好的性价比优势

另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性,方便客户对设备进行升级改造

机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm

手臂关节处使用磁流体密封装置

真空密封:磁流体密封装置和波纹管

提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5µm级过滤器

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

可以选配2相步进电机规格

手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式

可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供的手指


真空3轴圆柱坐标型机械手臂基本参数


使用环境

真空部:温度 15℃~50℃

驱动结构内部:洁净间内的大气环境

温度 15℃~40℃

手臂

单臂

到达距离

520mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

20mm / 40mm

可搬运质量

2kg (手臂第3关节处基准)




如需详细产品参数 请联系我们


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