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3轴机械臂真空3轴圆柱坐标洁净机械手臂

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海

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更新时间:2024-06-12 08:19:43浏览次数:68次

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产品简介

3轴机械臂真空3轴圆柱坐标洁净机械手臂

详细介绍

真空3轴圆柱坐标型机械手臂特点: 


真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列

双手指结构可以在真空腔室内搬运4kg以下的托盘

相比LVHR系列机械手臂具有较好的性价比优势

手臂关节处使用磁流体密封装置

真空密封:磁流体密封装置和波纹管

提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5µm级过滤器

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

可以选配2相步进电机规格

手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式

可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供的手指


真空3轴圆柱坐标型机械手臂基本参数


使用环境

洁净间内的大气环境真空

手臂

单臂

到达距离

640mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

60mm

可搬运质量

10kg (手臂第3关节处基准)




如需详细产品参数 请联系我们


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