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OKAMOTO GNX300B晶圆研磨机

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海

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更新时间:2024-06-12 09:23:37浏览次数:148次

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产品简介

OKAMOTOGNX300B晶圆研磨机特点:GNX300B拥有BG研磨技术

详细介绍

OKAMOTO GNX300B晶圆研磨机特点: 


GNX300B拥有BG研磨技术。

日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖

主轴机械精度可调

冈本自产铸金一体化结构,不易老化,精度持久

润滑系统有完善防护,避免异物进入造成磨损

适用晶圆尺寸:6"、8"、12"     晶圆厚度: 1000μm

可切换全自动、半自动操作模式

17 寸触控操作与监控屏,监控气压、电流、水流、厚度等

研磨耗材损耗小,加工成本低廉

研磨硅屑细小,冲洗更干净



OKAMOTO GNX300B晶圆研磨机规格参数:


规格

GNX200B

GNX300B

加工直径

Ф200㎜

Ф300㎜

主轴转速范围

0~3600rpm

0~3000rpm

主轴驱动电机功率

2.2kW/4kW

5.5kW/4kW

主轴进给速度范围

1~999μm/min

主轴数

2

工作盘转速范围

1~300rpm

研磨轮尺寸

Ф250㎜

Ф300㎜

设备整重

3900kg

5700kg




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