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STK-6150落地式高级自动晶圆减薄贴膜机特点:8"-12"晶圆适用设计的滚轮贴膜自动胶膜进给及贴膜手动晶圆上下料自动切割胶膜,省力蓝膜、UV胶膜可选PLC+触摸屏配置光帘保护功能,和紧急停机按钮三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控如需详细资料,请联系我们
STK-6150 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机 特点: |
8"-12"晶圆适用 |
设计的滚轮贴膜 |
自动胶膜进给及贴膜 |
手动晶圆上下料 |
自动切割胶膜,省力 |
蓝膜、UV 胶膜可选 |
PLC+触摸屏 |
配置光帘保护功能,和紧急停机按钮 |
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控 |
如需详细资料,请联系我们。
STK-6150 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机 规格参数: |
晶圆尺寸 | 8"-12"晶圆 |
晶圆厚度 | 100~750微米 |
晶圆种类 | 硅, 砷化镓或其它 单平边,双平边,V型缺口 |
胶膜种类 | 蓝膜或者UV膜 |
贴膜方法 | 滚轮贴膜 |
晶圆台盘 | 接触式晶圆台盘 |
晶圆台盘 | 通用(一体式)特氟隆防静电涂层接触式台盘;或硅胶台盘;或陶瓷台盘 |
晶圆台盘加热 | MAX可达 120℃ (对应接触式台盘,可 选) |
晶圆放置精度 | X-Y: +/- 0.5 毫米; Θ : +/- 0.5° |
装卸方式 | 手动晶圆放置与取出;晶圆在位置检测 |
防静电控制 | 去离子风扇 |
切割系统 | 自动刀 |
控制单元 | 基于 PLC 控制,10.4"触摸屏 |
电源电压 | 单相交流电220V,10A |
压缩空气 | 60 PSI 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5 立方英尺 |
灯塔 | 三色灯塔和蜂鸣器,用于操作状态监测 |
安全 | 配置安全光帘和紧急停机开关 |
体积 | 950 毫米(宽)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) |
净重 | 300 公斤 |
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