在上一篇文章里介绍了电子测量仪器方块电阻的定义以及它的测量方法，可能对测量方法还是有很多人不太理解的，为什么要这样测量呢？下面，来一起看看吧：
这种测试方法的优点是：（1）用这种方法毫欧计可以测试到几百毫欧，几十毫欧，甚至更小的方阻值，（2）由于采用四端测试，铜棒和导电膜之间的接触电阻，铜棒到仪器的引线电阻，即使比被测电阻大也不会影响测试精度。（3）测试精度高。由于毫欧计等仪器的精度很高，方阻的测试精度主要由膜宽W和导电棒BC之间的距离L的机械精度决定，由于尺寸比较大，这个机械精度可以做得比较高。在实际操作时，为了提高测试精度和为了测试长条状材料，W和L不一定相等，可以使L比W大很多，此时方阻Rs=Rx*W/L,Rx为毫欧计读数。此方法虽然精度比较高，但比较麻烦，尤其在导电薄膜材料比较大，形状不整齐时，很难测试，这时就需要用的四探针探头来测试材料的方阻，如图三所示。
探头由四根探针阻成，要求四根探针头部的距离相等。四根探针由四根引联接到方阻测试仪上，当探头压在导电薄膜材料上面时，方阻计就能立即显示出材料的方阻值，具体原理是外端的两根探针产生电流场，内端上两根探针测试电流场在这两个探点上形成的电势。因为方阻越大，产生的电势也越大，因此就可以测出材料的方阻值。需要提出的是虽然都是四端测试，但原理上与图二所示用铜棒测方阻的方法不同。因电流场中仅少部分电流在BC点上产生电压（电势）。所示灵敏度要低得多，比值为1：4.53。
影响探头法测试方阻精度的因素：
（1） 要求探头边缘到材料边缘的距离大大于探针间距，一般要求10倍以上。
（2） 要求探针头之间的距离相等，否则就要产生等比例测试误差。
（3） 理论上讲探针头与导电薄膜接触的点越小越好。但实际应用时，因针状电极容易破坏被测试的导电薄膜材料，所以一般采用圆形探针头。
zui后谈谈实际应用中存在的问题
1、如果被测导电薄膜材料表面上不干净，存在油污或材料暴露在空气中时间过长，形成氧化层，会影响测试稳定性和测试精度。在测试中需要引起注意。
2、如探头的探针存在油污等也会引起测试不稳，此时可以把探头在干净的白纸上滑动几下擦一擦可以了。
3、如果材料是蒸发铝膜等，蒸发的厚度又太薄的话，形成的铝膜不能均匀的连成一片，而是形成点状分布，此时方块电阻值会大大增加，与通过称重法计算的厚度和方阻值不一样，因此，此时就要考虑到加入修正系数。
方块电阻测试仪ST-21H 是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准，专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器，可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜)，金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。
方块电阻测试仪的详细介绍
方块电阻测试仪ST-21H
该仪器以大规模集成电路为主要核心；用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源；带回路有效正常指示电路；并配以大型LCD显示读数，使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。
◆ 特点：
1 | 采用大规模集成电路作为仪器的主要部分，测量准确稳定，低功耗； |
2 | 以大屏幕LCD显示读数，直观清晰； |
3 | 采用单个电池供电，带电池欠压指示； |
4 | 体积≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g； |
5 | 特制之手握式探笔，球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜 |
6 | 探头带抗静电模块 |
◆ 技术指标：
测量范围 | 按方块电阻量值大小分为二个量程档：
1.方块电阻 1.0～1999.9Ω/□；
2.方块电阻 10～19999Ω/□；
zui小分辨率：0.1Ω/□； |
恒流源 | 测量过程误差：≤±0.8% |
模数转换器 | 量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕显示；极性，超量程均自动显示；小数点同步显示； |
测量不确定度 | 在整个量程范围内，测量不确定度≤5% |
四探针探头规格 | 间距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；绝缘电阻≥500MΩ |
电源 | 9V叠层电池1节 |
◆ ST-21H方块电阻测试仪可选配HP系列四探针探头的型号及规格：
型号
(Model) | 曲率半径
(Radius) | 压力
(loads) | 探针间距
(spacing) | 探针排列
(Arrangement) |
HP-501 | 0.5mm | 100g | 3.8mm | 直线 |
HP-502 | 0.75mm | 100g | 3.8mm | 直线 |
HP-503 | 0.1mm | 150g | 1mm | 直线 |
HP-504 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 直线 |
◆ ST-21H方块电阻测试仪可选配SP-601型方型四探针探头的型号及规格：
型号
(Model) | 曲率半径
(Radius) | 压力
(loads) | 探针间距
(spacing) | 探针排列
(Arrangement) |
SP-601 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 方形 |
