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昆山硅净净化工程有限公司


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风机过滤器单元

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厂商性质其他

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更新时间:2023-01-27 14:37:41浏览次数:238次

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经营模式:其他

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产品简介

1.概述1-1风机过滤器单元风机过滤器单元(FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置

详细介绍

1.概述

1-1风机过滤器单元

风机过滤器单元(FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。

风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业。

使用环境

?周围温度:5℃~40℃

?湿度:低于85%RH(没有湿气凝结状态下)

?周围空气:一般室内空气

?清净度:100-10级

?请避免连续反复ON/OFF操作机体

 

如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组,将会影响制品性能,并可能会发生电气短路现象,造成电气部件损坏,缩短制品使用寿命。

为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅第4页的〝重要安全事项〞。






















(2) 表1. 部件明称及功能(参考图1)

 


No.

部 品 名 称

功            用

备  注

1

初效滤网

可有效拦截粒径≥5um的灰尘

 

2

外壳

设备外壳

可选优质冷轧板喷塑,镀锌铝钢板,铝板及不锈钢板等材料

3

把手

方便搬运

 

4

吊环

机体吊装

选配件

5

导流消声装置

引导气流及消除噪声

 

6

风机系统

为设备提供动力

风机可选国产/中国台湾/新加坡/德国

7

高效滤网

可过滤微小粒径的灰尘

效率99.99%@ 0. 3um

可选各种效率的滤网

8

控制系统

调速及开关电源

 



2.重要安全事项

不当使用风机过滤器单元组将会造成制品性能降低,使用时请务必遵守下列事项:

2-1 安装使用环境

风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。

 设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物,以免发生火灾。

 请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品,如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。

 请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品,如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。

 

2-2 运送与安装

 请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品,搬运时务必保持水平,如果使用轻便推车等工具运送时,请选用车台超过机体包装宽度的推车。

 机体安装后,机体上方至少须预留30公分以上的空间,以利将来机体维修,未预留足够的维修空间,机体将无法进行维修及部件更换。

 试运转前,请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。

 

2-3 安装?使用注意事项

风机过滤器单元安装于无尘室时,请务必遵守下列指示

?当进入无尘室时

请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。

请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。

请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。

点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。

 

 切勿直接重压风机过滤器单元机体,以免造成机体变形。

 

 请勿以沾湿的手操作机体,以免发生触电危险。

 

 请勿遮蔽机体吸入口及吹出口,机体吸入口及吹出口被遮蔽,将导致机体性能无法正常发挥,造成机体功能异常或电气部件损坏。

 

 实施第三种接地工事,以避免电击产生之危险。



3.安装使用

 

3-1运转前检查事项

运转前请先检查下列注意事项:

 机体外部电源是否连接,电源供应是否妥当。

 机体接地工事是否已实施。

 机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。

3-2运转时注意事项

(1) 开始运转

 当电源开启后,机体即开始运转。

 机体运转后请确认是否有异常现象。

当有下列情形发生,机体无法正常运转时,请向经销服务人员反映。

 机体内部有异物,机体离心风扇无法正常旋转。

 机体内部电线脱落,接头松脱。

 机体内部电气部件,如过电源插头、马达损坏。

(2) 停止运转

 运转后如发现异常现象,请即切断电源,停止机体运转。

 

 

NO.

点检专案

判断标准

1

离心风扇及马达

?离心风扇必须旋转平顺,没有产生异常声音,若听到异常声音,请确认送风机内有无异物以及马达轴承的声音是否异常,若马达有问题,请更换马达。

2

滤网

?滤网表面有无损伤、污点、肮脏….等

3

机体外观

?机体外观有无损伤

4-2定期维护

使用风机过滤器单元一段时间后,因使用环境及使用状况之差异,为了防止意外及确保风机过滤器单元的正常运转,请务必实施下列定期点检。

4-2.1定期维护

(1)定期维护项目
请依表3.所示,对风机过滤器单元实施定期点检,当部件寿命已至时,请立即进行部件更换。(部件寿命指一般使用状况下之寿命,会因使用环境及使用状况而有所差异)。

(2)当由于不可抗力(如地震、电击…..等)或化学药品的泄(腐蚀气体…..等)意外发生,停机再启动后,请务必实施相同的检查。

 

3. 定期维护项目

 

 

部件位置

征兆及可能原因

评价标准,确认点

检查频率

部件寿命

马达

(1)轴承损坏而使马达运转不平顺或死锁。

(2)绝缘不良造成过热、过载导致线圈烧损。

(3)电源连接或端子的绝缘不良,而造成异常发热、接地错误、层间短路…..等。

?确认马达有无异音、振动及味道,用耳朵确认轴承有无异常声音。

?绝缘阻抗须大于5MΩ以上。

?检查电缆线及端子有无破损或锈蚀,更换不良部件。

一年一次

5年以上

离心风扇

(1)因灰尘迭积或破损使得运转不平衡而损坏。

?检查离心风扇有无异音、振动及破损,更换不良部件。

一年一次

5

其它的电气部件及配线材料

(1)绝缘不良,端子螺丝松脱而造成过热、短路或烧损。

(2)配线表皮破损而造成短路、漏电或损伤。

?检查有无过热、锈蚀、暴露的导体,配线表皮破损…..等。

?绝缘阻抗须大于5MΩ以上。

?锁紧端子螺丝(每三年一次)更换不良部件。

一年一次

5

滤网

(1)因阻塞而造成风速减低。

(2)因化学药品而造成滤网材质、迫紧、阻隙材不良而使灰尘泄漏。

(3)因外部热源造成滤网材质不良。

?目视检查滤网材质、迫紧、阻隙有无刮伤、褪色、变形。

?检查泄漏更换不良部件。

一年一次

 (视不同使用场所需要而定)

外箱

及其它组件

因化学药品而使部件腐蚀或生锈产生灰尘。

 

?目视检查部件有无不良、褪色….等。

一年一次

其它部件8

4消耗性部件的更换期间我司建议)


部  品

更 换 期 间

滤网

1-2年(室内清净度100,000级的场所)  

初效滤网

每3个月(不同场所而有所区别)

马达

5年以上

注:滤网更换期间会因不同使用场所的差异而有所不同。


4.2.2点检完成

点检完成后,清洁工作场所及确认风机过滤器单元在正常运转状况;保留点检报告,当部件更换或机体更新时作为参考。

4-3故障排除

?若有以下现象发生,连络本公司并告知机身编号、机型、电压及不良现象(尽可能详细),然后慎重的调查问题的起因及采取适合的改善措施。

附录

 

易损件规格表:

序号

名称

规格型号

单位

单台数

备注

1

风机

PCI风机

1

 保修期:一年

2

电容

5uf,500V

1

 

3

玻纤无隔板过滤器

 

1

99.99%@o.3um

4

初效过滤器

 

1

 可清洗

 当需要更换服务备品时,请务必依本说明书中表1.所列之部件名称提供予服务人员。

 任何未经认可之代用品,不仅可能会影响风机过滤器单元的性能,同时可能造成火灾、触电或其它危险。

 

 


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