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IKS-OPT2700电子束蒸发光学镀膜机

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更新时间：2023-02-12 10:12:03浏览次数：508次

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沈阳爱科斯科技有限公司

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产品简介

设备用途：大面积电子枪蒸发光电膜、光学膜和防指纹膜

详细介绍

　　设备用途：大面积电子枪蒸发光电膜、光学膜和防指纹膜。

　　爱科斯的IKS-OPT2700蒸发镀膜机为实现大量快速生产大面积光学膜镀膜和单层/多层表面改性膜而设计，本机为立式单腔体镀膜机，是一种基于电子枪蒸发的多层光学薄膜镀膜系统。本设备的主要产品蒸发沉积多层光学介质膜和防指纹膜等，例如，可见光彩色膜、铝反射膜、AF防指纹膜、低熔点有机物膜、可见光分光膜、可见光抗反射膜等，也可以为特定的简单光学特性膜系进行调试生产。

　　设备特点

　　1. 产品设计，由爱科斯技术与产品性能的无缝对接整合，创造可靠、稳定、安全、智能化镀膜系统!

　　2. 真空获得，重新优化设计的真空获得系统，满足快捷平稳真空环境!

　　3. 蒸发源和离子源，合理的布局和高品质的加工技术，调试技术，实现工艺进程自动调节，电子束创新结构与精确速率保障材料沉积更精确、稳定!

　　4.自动运行控制系统，全新开发精确稳定系统!设置简单，操作简便!

　　设备简述

　　IKS-OPT2700是专为大面积光学薄膜镀膜而设计的电子束蒸发镀膜机。镀膜机系统由真空室、真空泵、真空检测与控制、衬底加热系统、电子束蒸发系统、离子源辅助沉积系统、电阻蒸发系统、膜厚监测系统、工作气体体积流量控制系统、工件旋转系统、PLC控制的自动镀膜等组成。

　　蒸发材料常用稀有金属，如氟化钇、氟化镨、锗、硫化锌、氟化镁、、二氧化硅、氧化锆、钴、镓、硒等金属。铜、钼、硅、锗等金属是反射器光学材料中常用的材料。

　　可涂装可见光彩色膜、铝反射膜、AF指纹膜、低熔点有机膜、可见光分光膜、可见光防反射膜等

　　设备参数

炉体尺寸	Ф2700×H1670	工件架	φ2650*H420mm
真空度	极限真空:6×10^-4Pa(24小时空载，不加热)	重量	8000kg,地板承重﹥1000kg/m2
漏率	＜4×10^-3Pa×L/S(氦捡漏)	温度	室温-250℃，温度均匀性±5%
工作真空	6*10-3Pa（自动工艺启动）	供电	三相电, 380V，50Hz，60-100KW
低真空	10 分钟＜10Pa	水冷	腔体流量大于4000l/h,泵组流量大于1800l/h 冷冻机流量大于1600l/h
高真空	6 分钟＜8×10^-3Pa	温水	蒸发源1800l/h，35-60℃
真空测量	全程监控，实时取点	占地	L6×w5.5×H3.5m
应用	眼镜、反光镜、手机背板、防护罩、光通讯、光学显示等