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表面3D光学轮廓仪

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参考价: ￥ 960000

订货量: ≥1 台

具体成交价以合同协议为准

产品型号SuperViewW1

品牌

厂商性质生产商

所在地深圳市

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更新时间：2023-05-15 14:02:13浏览次数：138次

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光学3D表面轮廓仪

粗糙度轮廓一体测量仪

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深圳市中图仪器股份有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：100条

所在地区：广东深圳市

联系人：精密仪器仪（中图仪器）

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产品简介

产地	国产

SuperViewW1表面3D光学轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；Z向分辨率：0.1nm；Z向扫描范围：10.3mm；XY水平位移台：电动手动均可调节。有自动化功能：自动单区域测量、自动多区域测量、多区域定位自动搜索测量、自动拼接测量。

详细介绍

白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

中图仪器SuperViewW1表面3D光学轮廓仪Z向分辨率：0.1nm；Z向扫描范围：10.3mm；XY水平位移台：电动手动均可调节。有自动化功能：自动单区域测量、自动多区域测量、多区域定位自动搜索测量、自动拼接测量；防撞保护：软件设置防撞、硬件传感器防撞。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

产品功能

1）SuperViewW1表面3D光学轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

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性能参数

型号		W1
光源		白光LED
影像系统		1024×1024
干涉物镜		标配:10× 选配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光学ZOOM		标配:0.5× 选配:0.375×、0.75×、1×
标准视场		0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）
XY位移平台	尺寸	320×200㎜
	移动范围	140×100㎜
	负载	10kg
	控制方式	电动
Z轴聚焦	行程	100㎜
	控制方式	电动
形貌重复性		0.1nm
粗糙度RMS重复性		0.005nm
台阶测量		准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ)
可测样品反射率		0.05%~100
主机尺寸		700×606×920㎜