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深圳市中图仪器股份有限公司
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| 产地 | 国产 | 光源频率 | 双频 |
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中图仪器SJ6000光学机床激光干涉仪可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。
激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。它采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。
中图仪器SJ6000光学机床激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。
SJ6000光学机床激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
▲主要镜组图
其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。
| 稳频精度 | 0.05ppm |
| 动态采集频率 | 50 kHz |
| 预热时间 | ≤ 6分钟 |
| 工作温度范围 | (0~40)℃ |
| 存储温度范围 | (-20~70)℃ |
| 环境湿度 | (0~95)%RH |
| 线性测量距离 | (0~80)m (无需远距离线性附件) |
| 线性测量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度轴向量程 | (0~15)m |
| 角度测量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度轴向量程 | (0~15)m |
| 平面度测量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m) |
| 直线度轴向量程 | 短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m |
| 直线度测量精度 | 短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度轴向量程 | 短距离(0.1～3.0)m;长距离(1.0～15.0)m |
| 垂直度测量精度 | 短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；
（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
（6）支持手动或自动进行环境补偿。
（1）友好的人机界面；
（2）丰富的应用功能模块；
（3）向导式的操作流程；
（4）简洁化的记录管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企业专属模板定制。
对机床精度再校准
三坐标测量机示值误差测量
导轨直线度检测
光刻机X轴Pitch测量
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