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可林艾尔精密空调系统（苏州）股份有限公司
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可林艾尔PerfectAirTM系列超高精恒温恒湿空调温度控制精度：±0.1℃湿度控制精度：±1.5%应用行业：1.超精密加工：可精密控制纳米~亚微米级加工设备周围温度的稳定状态
可林艾尔PerfectAirTM系列超高精恒温恒湿空调
温度控制精度：±0.1℃
湿度控制精度：±1.5%
应用行业：1.超精密加工：
可精密控制纳米~亚微米级加工设备周围温度的稳定状态。防止设备本身与加工品因温度变化发生伸缩造成的加工精密误差。
如：超精密非球面加工机、超精密单点精钢石车床等。
2.精密测量·检查 ：通过保证被测量物与精密测量仪器周围温度的稳定性，到达提升测量精度的目的。
如：超精密三坐标测量仪等。
3. 曝光 保持电子束曝光设备内部温度均匀，使执行光源与目标物冷却。防止光线的折射率发生改变，达到曝光品质优良。
4.涂布 保持电子束曝光设备内部温度均匀，使执行光源与目标物冷却。防止光线的折射率发生改变，达到曝光品质优良。
5.电子束曝光 控制温湿度保持稳定，防止因为电子束的温度不均匀，造成折射与遮罩基板的伸缩。以达到提升扫描品质的目的。
如：光刻机
6.基板印刷 印刷机周围温湿度保持稳定，让墨水的粘度与挥发量保持稳定，以达到提升品质的目的。
如：丝网印刷机
备注：
#1：可控制的温度因周边环境的温湿度（吸入空气的温湿度）发生变化；
#2：周边环境条件为温度变化梯度在1℃/h、湿度变化梯度在5%/h时，温度可控制在±0.1℃；
可控制的温湿度精度约为周边环境温度变化梯度的1/10℃。
#3：周边环境条件为24℃ 50%、蒸发温度为5℃时的能力。
温度控制精度：
±0.1℃以内（0.01℃解析能力）
节能设计：
废热循环利用技术
ATC控制：
与加工区域有效地控制与保证
精美外观设计：
富铝型板喷塑，流线型外观，经典工业灰
设计，美观大方，高雅得体
计量器具：
运行数据数字化管理
降噪设计：
低振动，低噪音
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