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压缩机螺杆真空镀膜机

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更新时间：2023-10-12 11:23:26浏览次数：262次

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广东汇成真空科技股份有限公司

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产品简介

可以保护机械设备的高应力液压元件免受磨损、附着、腐蚀、气蚀和变形。在高压、高流速和高转速的情况下，使用低可燃、基于水的液体介质时（HFA、HFC），润滑不良时，吸入研磨性介质时仍确保可靠的运行。

详细介绍

压缩机螺杆真空镀膜机制备的硬质涂层可以保护机械设备的高应力液压元件免受磨损、附着、腐蚀、气蚀和变形。在高压、高流速和高转速的情况下，使用低可燃、基于水的液体介质时（HFA、HFC），润滑不良时，吸入研磨性介质时仍确保可靠的运行。真空镀膜设备真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材，充分考虑可承受高温，配置多只高效园形电弧蒸发源，或配多个矩形平面电弧蒸发源，也可配多只空心阴极枪，同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源，保证足够等离子体密度和反应活性，提高膜层致密性和结合力。工件可三维运动，提高膜层均匀性。全自动控制提高工艺稳定性。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、TiAlCN、TiCrN、TiCrCN、TiAlCrN、多层超硬膜等。

HCSH-380	有效空间	应用技术	靶材
	Ø400x H450mm	CMARC	2pcs×3
	生产周期	标准涂层	可选涂层
	3-5小时/炉	TiN，CrN，AlTiN，AlCrN	TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN
	硬件	软件	产量/炉
	磁悬浮分子泵等离子清洗气体刻蚀	工业可编程系统工业PC系统专家远程诊断系统	洗刀 D4×50mm=864 D10×75mm=264 刀片 D18×5mm=1440 滚刀 D80×80mm=15
HCSH-600	有效空间	应用技术	靶材
	Ø600 x H500mm	CMARC	2pcs×3
	生产周期	标准涂层	可选涂层
	4-6小时/炉	TiN，CrN，AlTiN，AlCrN	TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN
	硬件	软件	产量/炉
	磁悬浮分子泵脉冲偏压 HCD等离子刻蚀	工业可编程系统工业PC系统专家远程诊断系统	洗刀 D4×50mm=1920 D10×75mm=512 刀片 D18×5mm=3276 滚刀 D80×80mm=40
HCSH-650	有效空间	应用技术	靶材
	Ø650 x H750mm	CMARC	4pcs×3
	生产周期	标准涂层	可选涂层
	3-6小时/炉	TiN，CrN，AlTiN，AlCrN	TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN
	硬件	软件	产量/炉
	磁悬浮分子泵脉冲偏压等离子刻蚀	工业可编程系统工业PC系统专家远程诊断系统	洗刀 D4×50mm=4032 D10×75mm=880 刀片 D18×5mm=6400 滚刀 D80×80mm=64
HCSH-900	有效空间	应用技术	靶材
	Ø900 x H1200mm	CMARC	6pcs×3
	生产周期	标准涂层	可选涂层
	5-8小时/炉	TiN，CrN，AlTiN，AlCrN	TiCN，TiAlCrN，TiAlSiN
	硬件	软件	产量/炉
	磁悬浮分子泵脉冲偏压等离子刻蚀	工业可编程系统工业PC系统专家远程诊断系统	洗刀 D4×50mm=8640 D10×75mm=2200 刀片 D18×5mm=1200 滚刀 D80×80mm=140

涂层种类	涂层名称	颜色	涂层成分	显微硬度	使用温度	摩擦系数	涂层厚度
氮化物陶瓷	HAL	黑色	ALTiN	3800	900	0.6	2.5±0.5
	HAL Plus	黑色	ALTiN	3800	900	0.6	4±0.5
	HAL Mini	黑色	ALTiN	3500	900	0.6	1.5±0.5
	HAL B	紫黑	ALTiN	3600	900	0.6	2.5±0.5
	HAR	银色	CrN	2000	700	0.3	3±0.5
	HAT	金黄	TiN	2400	600	0.5	3±0.5
	HAS	古铜	AlTiSiN	3800	1000	0.4	3±0.5
	HATC	灰色	TICN	3500	400	0.2	2±0.5
	HATC Plus	古铜	TICN	3200	400	0.25	2±0.5
	HART	金黄	CrTiN	2500	600	0.4	2.5±0.5
	HRA	蓝灰	AlCrN	3500	1000	0.4	4±0.5
	HRAT	灰色	AlTiCrN	3200	900	0.4	3±0.5
DLC	HCC	黑色	CrN+W-C:H	2200	300	0.2	2±0.5
DLC	HCMC	黑色	Cr+W-C:H+DLC	1800	300	0.1	2±0.5