低温等离子体废气净化技术是目前zui有效的废气净化技术，由于安全性能问题，只作为一种指导下的研究，光催化氧化废气净化技术应用非常广泛，由于单位能量相对较小，处理需较长时间，所以设备体积非常大，投资比较高。碳放电高能离子技术突破欧洲传统“花冠放电”高能离子技术，采用碳作为介质放电材料，高能离子浓度由160万提高到10000万，电源形式从模块变化为高频电源，提升电源输出的稳定性。
碳放电是将碳绝缘介质插入放电空间的一种气体放电。介质可以覆盖在电极上,也可以悬挂在放电空间里，当在放电电极间施加一定频率（50 MHz 至几K赫兹） 的3Kv的交流电压时,电极间的气体就会被击穿产生碳阻挡气体放电。 在大气压或高于大气压条件下,间隙内的气体放电由许多在时间上和空间上随机分布的微放电构成,这些微放电的持续时间很短,一般为纳秒量级[20] 。 由实验观察,微放电通常呈现一些相当均匀的圆柱型微通道,每一个微通道就是一个强烈的流光放电击穿过程,带电粒子的输运过程及等离子体化学反应就发生在这些微放电通道内. 因此一些研究者将微放电作为碳等离子体的主要特性,并通过研究微放电的性质来研究碳等离子体的整体特性。从碳的物理过程来看,电源电压通过电介质电容耦合到放电间隙形成电场,空间电子在这一电场作用下获得能量,与周围气体发生非弹性碰撞,电子从外加电场取得能量转移给气体分子，气体被激励后,发生电子雪崩,出现了相当数量的空间电荷。它们聚集在雪崩头部,形成本征电,再与外加电场叠加起来形成很高的局部电场,在新形成的局部电场作用下,雪崩中的电子得到进一步加速,使放电间隙的电子形成空间电荷的速度比电子迁移速度更快,形成了往返两个电场波,电场波向阴极方向返回时更强,这样一个导电通道能非常快地通过放电间隙形成大量微细丝状的脉冲流光微放电. 它们很均匀、漫散和稳定,彼此孤立地随机发生在不同地点，当微放电通道形成以后,空间电荷就在通道内输送累积在电介质表面产生反向电场而使放电熄灭,形成微放电脉冲。在一定范围内,微放电的数量随供电电压及频率的增加而增加. 可见碳介质的分布电容对于微放电的形成起着十分重要的镇流作用. 一方面,由于电介质的存在,有效地限制了带电粒子的运动,防止了放电电流的无限制增长,从而避免了在放电间隙内形成火花放电或弧光放电;另一方面,电介质的存在可以使微放电均匀稳定地分布在整个放电空间内。
装置由NBL离子管 ,l离子发射控制器，电源等组成，NBL离子管封入的激发气体经应该配比，金属填充物采用多种贵金属的特殊合金材料制成，在气体电子的激发中，贵金属分子大量失去电子，使离子管外侧聚集高浓度负离子，监测表明，在离子管1m范围负离子浓度高达160万次/cm3，达到*水平。
微波的波长1nm~1m，它不能使分子离子化，但是它能提高分子运动的能量，增加单位时间内分子的碰撞次数，同时在微波场的作用下能防止载流子复位，提高保持离子的浓度和活性。进一步撕裂和扭转经高能离子处理的废气。
无极灯辐射的紫外线剂量高达65mw/cm2，光子的能级大于7.8eV，能迅速撕裂硫化氢，氨等键能低且具极性的分子，检测结果显示，经高能离子净化，通过微波场加速，无极灯紫外线辅助，在距离NBL离子管3m的范围离子浓度超过100万次/cm3。46mg/m3的硫化氢处理后的浓度小于0.1,187mg/m3的硫化氢处理后浓度小于0.8，低浓度氨不能检测到。
高能离子微波光催化氧化成套设备已经在青田污水处理厂，建德污水处理厂，平阳污水处理厂等安装使用，是目前理想的市政工程废气净化成套设备。
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