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武汉嘉仪通科技有限公司
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TC-Wafer校准仪 快速退火炉温场均匀性校准，本仪器是一款应用于晶圆温场均匀性实时测量校准的仪器设备,并能生成报告。
TC-Wafer校准仪 快速退火炉温场均匀性校准，本仪器是一款应用于晶圆温场均匀性实时测量校准的仪器设备,并能生成报告。
产品特点：
支持最多20路实时测量晶圆温度；
温度均匀性实时曲线图和数值显示；
采集数据Excel表格导出，并生成报表；
晶圆温点分布直观显示并自动生成校准报告；
可快速更换TC-wafer及自定义功能;
大屏高分辨率显示；
数据最多采集10次/秒；
65瓦Type-C快速充电；
内置大容量电池，使用可达4小时；
10000条数据存储量；
支持多种传输方式，如U盘、蓝牙、无线网络；
便携一体化设计；
......
TC-Wafer校准仪 快速退火炉温场均匀性校准 产品应用:
RTP设备生产厂家
使用RTP设备客户
TC-wafer生产厂家
其他晶圆热处理设备
产品参数：
项目 | TC-20参数 | TC-10参数 |
续航 | 待机15小时、连续使用4小时 | 待机15小时、连续使用4小时 |
屏幕 | 13寸、分辨率：2880*1920 | 10寸、分辨率：1920*1280 |
数据采集速率 | 100ms ~ 450ms | 100ms ~ 450ms |
使用范围 | 室温~ 900℃ | 室温~ 900℃ |
单一点位温度偏差 | ±1.1℃/0.4％ | ±1.1℃/0.4％ |
晶圆尺寸 | 2吋 ~12吋 | 2吋 ~8吋 |
热电偶测温点数 | 1 ~ 20 | 1 ~ 10 |
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