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技术文章

压电陶瓷的切割、研磨、抛光工艺

阅读:40发布时间:2024-11-30

  压电效应
 
  某些材料在机械应力作用下,引起内部正负电荷中心相对位移而发生极化,导致材料两端表面出现符号相反的束缚电荷的现象,称为压电效应。反之,当这类材料在外电场作用下,其内部正负电荷中心移位,又可导致材料发生机械变形,形变的大小与电场强度成正比。具有这种性能的陶瓷称为压电陶瓷,它的表面电荷的密度与所受的机械应力成正比。
 
  压电陶瓷
 
  作为压电陶瓷的原材料,在晶体结构上一定是不具有对称中心的晶体,如氧化铅、氧化锆、氧化钛、碳酸钡、氧化铌、氧化镁、氧化锌等。常用的压电陶瓷有钛酸钡、钛酸铅、锆钛酸铅以及三元系压电陶瓷。其结构类型有钙钛矿型、钨青铜型、焦绿石型、含铋层结构等。
 
  压电陶瓷制作的一般工艺流程:
 
  压电陶瓷是新型功能电子材料,随着材料及工艺的不断研究和改良,在传感器、换能器、无损检测和通讯技术等领域已获得了广泛的应用。要实现压电陶瓷的优异性能,就必须加工具有一定形状精度和尺寸精度的元件。因此,研究压电陶瓷的加工技术,特别是精密、超精密加工技术具有重大的应用价值及现实意义。
 
  切割
 
  粘样。使用加热平台、石蜡、树脂陶瓷块将样品固定在载物板上。对于圆柱状样品以侧面粘接时,要在两侧加石墨夹立粘贴,以确保切割时样品的稳固。
 
  装卡对刀。无论使用线锯式或是锯片式切割机,都需要调整切割刀口的位置。且大部分切割机都可实现切割面良好的垂直度对刀。例如STX-202小型金刚石线切割机可通过360°旋转平台及二次装卡的方法,对样品进行高度平行和垂直调整。
 
  调整参数。根据样品的相关参数,设置切割机的运行参数,以求获得切割。
 
  研磨抛光
 
  对于需要粘样的薄片,注意表面的平整度,并将薄片边缘多余的石蜡清理干净,以避免与磨料发生交叉污染,影响磨抛效果。同时,为了去除研磨盘上可能附有其他粒度的磨料及杂物,每用一种磨料都先要进行修盘,但更建议每一种粒度的磨料对应一盘,以确保的磨抛效果。磨料选择刚玉即可,按W28、W14、W7的顺序进行逐步研磨。

磨抛料

刚玉

刚玉

刚玉

金刚石悬浮液

粒度

μm)

W28

W14

W7

 3

压力

kg)

1.69

1.69

1.69

 1.69

转数

rpm)

30

30

30

 110

时间

min)

20

20

20

 30

 
  对于压电陶瓷的抛光多选用聚氨酯抛光垫、合成革抛光垫,配用3μm金刚石悬浮液。注意抛光垫粘贴时要均匀地摊开,以便消除粘合面的气泡,保证抛光面的平整度。并且在正式抛光使用前,需用清水清洗后进行修垫,避免抛光垫的棱角过于尖锐,损伤抛光面。此外,要想获得更小的表面粗糙度,可在完成抛光后,更换新的抛光垫,使用1.5μm的金刚石悬浮液继续抛光。
 
  此工艺流程不仅适用于压电陶瓷的切磨抛,通过改变相应的参数设置,可以用于其他陶瓷的切割、研磨、抛光。
 

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