当前位置：长沙沛钰进出口贸易有限公司>>其它高温炉>>带有预热系统的滑动PECVD

带有预热系统的滑动PECVD

返回列表页

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌

厂商性质经销商

所在地

在线询价收藏产品查看联系电话

联系方式：许进朝查看联系方式

更新时间：2024-09-28 10:55:48浏览次数：99次

联系我时，请告知来自环保在线

产品分类 品牌分类

  其它高温炉

全部产品列表

暂无信息

长沙沛钰进出口贸易有限公司

经营模式：经销商

商铺产品：489条

所在地区：湖南长沙市

联系人：许进朝（销售经理）

询价 给他留言

产品简介

型号：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL产品概述：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款双温区的PECVD管式炉系统，组成部分为500W的射频发生器、滑动速度可控的双温区滑轨炉，预热炉（作用为使固体原料蒸发）和德国进口的无油泵

详细介绍

型号：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL

产品概述：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款双温区的PECVD管式炉系统，组成部分为500W的射频发生器、滑动速度可控的双温区滑轨炉，预热炉（作用为使固体原料蒸发）和德国进口的无油泵。此款PECVD对于生长纳米线或用CVD方法来制作各种薄膜是一款新的探索工具。

免责声明：本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅用于宣传用途，仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差，请勿复制或者截图。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息及更多参数，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，请勿将此参数用于招标文件或者合同，公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您谅解。如果您需要下载产品的电子版技术文档，说明书（在线阅览），装箱单，与售后安装条件等文件，请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户，购买前请与工作人员沟通，以免给您带来不便。

技术参数实验案例警示/应用提示配件详情

设备名称

带有预热系统的滑动PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL （2019.12.11—科晶实验室审核）

产品提示

1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示

产品特点

▪ 与普通CVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温对薄膜的损坏；

▪ 可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果；

▪ 炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区温差为400℃；

▪ 带有预热炉，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。

加热炉参数

▪ 连续工作温度为1100℃

▪ 两个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；两个温区温差为：400℃

▪ 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。（点击图片查看详细资料）

▪ 工作电源：208-240V AC单相，功率：4KW

加热炉图1.jpg 温控仪表.JPG

预热炉参数

▪ 温度：1100℃；

▪ PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；

▪ 气体通过等离子射频电源前，先通过预热炉，也可将固体和液体原料放在预热炉中，气化后与气体原料相混合

预热炉图1.jpg

电动滑轨

▪ 可将电动滑轨安装在炉体下端，将炉体滑动，以达到快速升温和快速降温的效果

▪ 滑动速度：0-70 mm/s（可调）

升降温速率

▪ RS485接口和控温软件可安装在炉体内，将控温程序和温度曲线导入电脑中（仪器中不包含，客户需额外出费用在本公司购买）

▪ 为获得的升温速率，可将炉体升温到设定温度，然后将炉体滑到样品放置区

加热速率	冷却速率
15°C/sec (RT - 150°C)	15°C/sec (1000 - 950°C)
10°C/sec (150°C - 250°C)	10°C/sec (950°C - 900°C)
7°C/sec (250°C - 350°C)	7°C/sec (900°C - 850°C)
4°C/sec (350°C - 500°C)	4°C/sec (850°C - 750°C)
3°C/sec (350°C - 550°C)	2°C/sec (750°C - 600°C)
2°C/sec (550°C - 650°C)	1.5°C/sec (600°C - 500°C)
1°C/sec (650°C - 800°C)	1°C/sec (500°C - 400°C)
0.5°C/sec (800°C - 1000°C)	0.5°C/sec (400°C - 300°C)

射频电源

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。

	300W射频电源	500W射频电源	100W射频电源
输出功率	0-300W可调（稳定性：±1%）	0-500W可调（稳定性：±1%）	0-100W可调（稳定性：±1%）
射频频率	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）
匹配	自动匹配	自动匹配	手动匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷却方式	风冷	风冷	风冷
输入电压	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
图片