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多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM

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产品型号nanoEM

品牌

厂商性质其他

所在地北京市

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更新时间：2023-12-07 10:04:40浏览次数：256次

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QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

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产品简介

多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控溅射喷金仪。

详细介绍

多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM

nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控溅射喷金仪。该系统可配备SEM样品托、TEM网、普通样品等多种样品台，满足各种高精度的喷金或电极生长需求。除了溅射金属电极外，nanoEM还具有*的拓展空间，虽然作为台式设备，nanoEM配备了输出功率可达300W的溅射源，系统还可选择样品台旋转、样品倾斜、自动压强控制等多种功能。丰富的选件和配置可以满足学术研究的多种样品生长需求，可升级成为一台多功能的磁控溅射薄膜制备系统。该设备作为灵活的高精度金属溅射仪备受各大实验室的青睐。

主要特点：

◎ 能够达到学术研究级的多功能喷金仪

◎ SEM托、TEM网、普通样品多种样品台可选

◎ 可安装两个2英寸溅射源

◎ 通用的溅射靶材

◎ 本底真空<5×10^-7 mbar

◎ 流量计精确控制生长气氛

◎ 可调式DC溅射源，输出功率可达300W

◎ 全自动，引导式触屏控制

◎ 完备的安全性设计

◎ 易于维护

◎ 兼容超净室