特点(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

普利森PA4050-N1

美国派克汉尼汾SA1508

日本宇部MI-510F

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美国捷能GENERON 6150C完整型号美国捷能GENERON 6150CP

美国派克汉尼汾 591P/270A直流调速器591P-53327032-P00-U4A0

321HS9292 24VDC美国派克汉尼汾PARKER电磁阀

⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

⑵了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

⑸真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

EVAC 泵轴 6547055

EVAC总成 6548539 6547049 6547051 6547050

EVAC真空泵导轮 6555507 螺旋螺杆

隔膜阀 5906800

电动阀 6540215 230V 0.06KW 1.2A

喷射泵叶轮 5451270

喷射泵机械密封 5451310

喷射泵(带电机) 6580439 SE044A1501 4KW

排放阀 5435015

直通隔膜阀 F50KB

真空泵 6580439

延时自闭式冲洗阀 5979312

粉碎泵 0.5CWF-25B

止回阀6558400168

EVAC 6547038 电机

EVAC 6546721 抽水泵被替代6555528

EVAC 6555528 抽水泵

EVAC 5775500 Control mechanism

EVAC 6542997 Water valve

EVAC 6543002 Discharge valve

70701001 Level switch ssp/3k

70301001 Air blower complete

54376223 Vacuum gauge R1/2"

6541709 spare parts set for air blower

71501001 Air valve R1/2"

71502001 Air valve R1"

6541776 Mechanical seal

79210085 O-ring

6541779 Ball bearing

5490566 Ball bearing

6541708 spare parts set for discharge pump

⑹正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

⑺真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

⑻真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

⑼真空泵的价格、运转及维修费用。

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