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半导体晶圆光罩石英舟石墨舟氮气柜

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所  在  地合肥市

更新时间:2024-07-11 11:04:24浏览次数:18次

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半导体晶圆光罩石英舟石墨舟氮气柜
石墨舟氮气柜是一种专为存放石墨舟设计的储存设备,因为石墨材质在空气中容易与氧气发生反应,尤其是在高温处理后,表面可能更为敏感。

详细介绍

半导体晶圆光罩石英舟石墨舟氮气柜  半导体晶圆光罩石英舟石墨舟氮气柜 

石墨舟是一种在半导体、太阳能光伏等高科技产业中广泛使用的专用工具,主要由高纯度石墨材料制成。它的形状通常像一只船,因此得名“石墨舟"。石墨舟主要用于承载硅片或其他基板材料通过各种高温处理过程,是制造半导体器件和太阳能电池片的关键设备之一。

石墨舟氮气柜是一种专为存放石墨舟设计的储存设备,因为石墨材质在空气中容易与氧气发生反应,尤其是在高温处理后,表面可能更为敏感。氮气作为一种惰性气体,可以隔绝空气中的水汽和其他污染物,避免这些杂质附着在石墨舟及装载的硅片上,影响后续工艺的纯净度和成品率。使用氮气柜可以创造一个低氧或无氧环境,有效防止石墨舟表面氧化,保持其导电性和热稳定性。对于某些需要保持特定物理或化学性质的石墨舟,氮气环境有助于维持其材料特性不被外界环境破坏。这类柜子通常配备精确的氮气流量控制和监测系统,保证柜内气体环境的稳定,调节和监控柜内的氮气浓度、湿度、氧气含量等参数,确保存储条件符合要求。

半导体晶圆光罩石英舟石墨舟氮气柜

设计和制造上石墨舟氮气柜有着严格的标准,采用高质量的密封材料,能够提高柜门、接口等部位的密封性,减少氮气泄漏;考虑到长期使用需求,通常采用耐腐蚀、耐高温材料制造,能够抵抗化学物质的侵蚀,保证柜体在长期氮气环境下仍能稳定工作;设计合理的气体进出通道和循环方式,确保氮气分布均匀,没有死角。

使用石墨舟氮气柜时,要定期检查氮气供应系统是否正常工作,遵循操作规程,特别是在更换氮气罐或维护时,注意个人防护。记录氮气消耗量、柜内环境数据等,用于分析和优化存储条件。确保柜体放置于通风良好、无剧烈温度变化的环境中,避免外界因素干扰柜内环境控制。

半导体晶圆光罩石英舟石墨舟氮气柜

石墨舟氮气柜的材质一般选择不锈钢,主要有以下几个原因:

1.耐腐蚀性:不锈钢具有良好的耐腐蚀性能,尤其在存在氮气等惰性气体的环境中,能够长时间保持柜体结构不受腐蚀,延长使用寿命。这对于需要长期维持稳定、洁净存储环境的石墨舟来说尤为重要。

2.强度与稳定性:不锈钢材质强度高,能够支撑石墨舟的重量以及在操作过程中可能承受的外力,确保柜体结构稳定,不易变形。

3.清洁易维护:不锈钢表面光滑,不易吸附灰尘和其他污染物,易于清洁和消毒,这对于需要高度清洁的半导体和光伏生产环境至关重要,有助于减少污染风险,维护产品质量。

4.密封性:不锈钢材料可加工性好,能更好地实现柜体的精密密封设计,防止氮气泄露,保持柜内气体环境的稳定,同时也有利于维持所需的低氧或无氧状态。

5.美观与耐用:不锈钢外观现代、整洁,且不易磨损,长期使用下仍能保持良好外观,适合于高科技生产和实验室环境。

选择不锈钢作为石墨舟氮气柜的制造材料,不仅是因为其优异的物理和化学性能,还因为其能满足高科技制造业对设备耐用性、清洁度及安全性的高标准要求。

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