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桌面式小型蒸镀仪

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更新时间：2024-04-29 09:12:47浏览次数：23次

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郑州科探仪器设备有限公司

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产品简介

桌面式小型蒸镀仪KT-Z1650CVD，一款桌面式真空蒸镀仪，外形小巧便于携带，7寸触摸屏控制，工艺储存，自动电动挡板保护样品。

详细介绍

桌面式小型蒸镀仪KT-Z1650CVD台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。

通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。

★ 玻璃钟罩真空腔室，最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察；

★ 复合分子泵和直联旋片泵，大抽速准无油真空系统（分子泵抽速≥400L/S）；

★ 两组水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计；

★ 专业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出；

★ 可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；

以下是不同真空度不同镀膜时间镀铜样品图

原样品没有镀膜 115A 100秒机械泵

115A 100秒分子泵抽12分钟 115A 120秒分子泵抽20分钟

真空度越高越不易氧化越接近金属本色

桌面式小型蒸镀仪KT-Z1650CVD

控制方式	7寸人机界面手动自动模式切换控制
加热方式	数字式功率调整器
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率	≤1200W
输出电压电流	电压≤12V 电流≤120A
真空度	机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤10^-3Pa
挡板类型	电控
真空腔室	石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
样品台	可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品蒸发源调节距离	70-140mm
蒸发温度调节	≤1800℃
支持蒸发坩埚类型	钨丝蓝带坩埚钨丝蓝钨舟碳绳
预留真空接口	KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展	机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）