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微型高温探针台

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更新时间：2024-04-29 09:17:47浏览次数：91次

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郑州科探仪器设备有限公司

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产品简介

微型高温探针台KT-Z400MR4T，0-400℃温控，主要用于介电、压电、铁电、热释电、光电等材料的电学性能表征和测量。

详细介绍

微型高温探针台KT-Z400MR4T

系列微型真空探针台是一款专门用于材料电学表征和测量的微型桌面型电学测量台，主要用于介电、压电、铁电、热释电、光电等材料的电学性能表征和测量，还可以在真空、气氛环境下对材料进行电学测量评估，是实验室测量薄膜材料电学性能工具，广泛用于高校、科研、航天航空、院所等领域。

主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台(低温探针台)，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成

为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，很大程度地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。

微型高温探针台KT-Z400MR4T参数

真空腔体
类型	高温型室温到350℃	高低温型室温到350℃ 室温到-196℃
腔体材质	304不锈钢 6061铝合金可选
腔体内尺寸	127mmX57mmX20mm
腔体外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔体重量	不锈钢材质约1.5KG 铝合金材质约0.5KG
腔体上视窗尺寸	Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体真空测量口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口	6mm快拧或 6mm快插
腔体冷却方式	腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
腔体正压	≤0.05MPa
腔体真空度	机械泵≤5Pa （5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质	不锈钢银铜合金纯银块	银铜合金纯银块
样品台尺寸	26x26mm
样品台加热方式	电阻加热	电阻加热液氮制冷
样品台-视窗距离	11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
样品台测温传感器	PT100型热电阻
样品台温度	室温到400℃	室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差	±0.5℃
样品台升温速率	高温100℃/min 值低温7℃/min
温控仪
温度显示	7寸人机界面
温控类型	标准PID温控 +自整定
温度分辨率	0.1℃
温控精度	±0.5℃
温度信号输入类型	PT100 （可选K S B型热电偶）
温控输出	直流线性电源加热	直流线性电源加热+液氮流速控制器
辅助功能	温度数据采集并导出实时温度曲线+历史温度曲线可扩展真空读数接口
温控器尺寸	32cmX170cmX380cm
温控器重量	约5.6KG
探针
电信号接头	配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头香蕉插头线长1.2米
电学性能	绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量	4探针（可扩展5探针）
探针材质	镀金钨针（其他材质可选）
探针尖	10μm
手动探针移动平台
X轴移动行程	20mm ±10mm（需手动推动滑台）
X轴控制精度	≥500μm
R轴移动行程	120° ±60°（需手动旋转探针杆）
R轴控制精度	≥500μm
Z轴移动行程	2mm ±1mm
Z轴控制精度	≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）