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上海欧逸机电工程设备有限公司
设计用于需要高精度测量的机床和系统,典型应用包括:半导体工业的测量和生产设备PCB电路板组装机超精密机床高精度机床测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备直接驱动
产品系 | 应用 |
LIC | LIC敞开式直线光栅尺用于测量高速运动的行程达27 m内的位置。其尺寸和安装方式与LIDA 400相同。 |
LIP | LIP敞开式直线光栅尺的测量步距非常小、精度和重复精度非常高。扫描方式为干涉扫描,测量基准为DIADUR相位光栅。 |
LIF | LIF敞开式直线光栅尺的测量基准是SUPRADUR玻璃基体光栅,扫描方式为干涉扫描。特点是精度和重复精度高,安装简单,有限位开关和回零轨。特殊型号的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空环境中(参见其单独“产品信息”)。 |
LIDA | LIDA敞开式直线光栅尺特别适用于运动速度达10 m/s的高速运动应用,支持多种安装方式,安装简单。根据相应应用要求,METALLUR光栅的基体可为钢带,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位开关。 |
PP | PP双坐标编码器的测量基准是一个平面DIADUR相位光栅,扫描方式为干涉扫面。用于测量平面中位置。 |
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