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苏州道盛禾环保科技有限公司
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最近几年超大规模集成电路的生产有了快速发展，对超纯水的水质提出了更高的要求，超纯水中所含杂质的允许含量越来越低，同时需要控制的杂质种类也越来越多
最近几年超大规模集成电路的生产有了快速发展，对超纯水的水质提出了更高的要求，超纯水中所含杂质的允许含量越来越低，同时需要控制的杂质种类也越来越多。为了有效去除各种杂质，需要各种处理手段的综合运用。
通常我们超纯水系统分为三部分：预处理，初级处理和抛光精制处理。
1.预处理系统通常由过滤、杀菌和防氧化工艺组成;
2.初步处理系统主要由反渗透、离子交换器、膜脱气、紫外设备等组成。
3.精制处理部分通常包括TOCUv、抛光混床、膜脱气以及终端超滤装置。
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