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ZLS-26D/T（双口型）氦质谱检漏仪

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产品型号ZLS-26D/T（双口型）

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更新时间：2025-04-03 07:19:44浏览次数：69次

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氦质谱检漏仪

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产品简介

ZLS-26D/T(双口型)氦质谱检漏仪是为适应生产线上快速工作的要求而研制的。其和ZLS-26D/T相比，真空系统和电路基本相同，检漏指标也相当，只是多一套辅助系统。

详细介绍

ZLS-26D/T（双口型）氦质谱检漏仪产品简介：
ZLS-26D/T（双口型）氦质谱检漏仪是为适应生产线上快速工作的要求而研制的。其和ZLS-26D/T相比，真空系统和电路基本相同，检漏指标也相当，只是多一套辅助系统。每一套辅助系统均可单独完成对工件的“初抽—检漏—放气”这样一个完整的检漏工作周期。

ZLS-26D/T（双口型）氦质谱检漏主要技术参数：
有两个检漏接口
仪器zui小可检漏率：优于5～10-12Pa～m3/s
仪器zui大可检漏率：2×10-1Pa～m3/s
仪器漏率显示范围：2×10-1～2×10-13Pa～m3/s
仪器的反应时间：不大3s
仪器质谱室允许工作的zui高压强：1×10-2Pa
仪器测试口允许工作的zui高压强：1000Pa
被检件由粗抽至检清的自动切换点