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EMS 575T双头高分辨率离子溅射镀膜仪、EMS 550/EMS 500全自动离子溅射镀膜仪

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产品型号EMS 575T、EMS 550/EMS 500

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更新时间：2022-07-22 10:49:53浏览次数：320次

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海德创业（北京）生物科技有限公司

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产品简介

EMS 550/EMS 500全自动离子溅射镀膜仪、EMS 575T双头高分辨率离子溅射镀膜仪

详细介绍

EMS 575T是一款涡轮泵双头高分辨率镀膜仪（喷金仪）。EMS-575T样本放置在旋转样品台上（the rotary stage），盖好盖子（the chamber lid），按下启动按钮，涡轮分子泵开始加速，5秒钟后，机械泵开始启动，同时十秒气体排空程序启动，两个泵同时运行确保一个高真空。当涡轮泵加速，它的速度由柱状图来标示，到达速度的一半时，真空计扭至自动状态。当腔内气体压降为10-4 mbar，排气开始，腔内气压维持在1 x 10-2 and 1 x 10-3 mbar之间，排气的zui后阶段，靶材按照预订镀膜时间开始喷镀。镀膜需要两种不同金属的，不需要关泵，继续溅射另一种金属。喷镀完成后，两个泵停止，排气阀排气。

仪器质保期2年。模块化的单元结构使得仪器维护方便，摘掉问题模块，换上无问题的模块，仪器即可很好的运行，一点不会耽误实验进程。

性能特征：

全自动一键式操作，微处理器数字控制方式，可预设参数
LCD屏实时显示状态参数
质保期：标准保修期为一年
高分辨率精细镀层（不超过0.5nm的铬颗粒大小）
薄金属镀层，典型5nm厚
涡轮分子泵
Peltier冷却双溅射头，无需冷却水
双溅射头：一次真空条件下，可顺序溅射两种不同的材料，对于需要依次喷镀两种金属的样品特别适用
磁控溅射靶源设计
旋转机械泵为备用泵，机械泵为外部安装式

仪器参数：

仪器尺寸	450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H）
工作腔室	硼硅酸盐玻璃: 165mm（Dia.） x 125mm（H）
加不锈钢底座	110mm（Dia.） x 115mm（H）
重量	42Kg
靶材	54mm（Dia.） x 0.2mm（Thick）（标准铬靶材和金靶材）
样品台	60mm（Dia.），以60 r.p.m 旋转，一定的倾斜度
真空泵工作范围（Penning）	ATM to 1x10^-7 mbar，镀膜腔体极限真空度10^-7 mbar
操作真空	1x10^-3 mbar to 1x10^-4 mbar
溅射电流	0-175mA
溅射时间	0-4 minutes
功率	1000v at 100 ma, 100 watts
沉积速率	30nm/min at 100ma
涡轮分子泵	60 litres/Second （Ultimate vacuum 1x10^-8 mbar）
电源配置	230 volts 50Hz （6 amp Max incl pump）
Services	Argon Nominal 4 psi
真空泵（*配件）	附带真空管和油气过滤器

订购信息：

货号	产品名称	规格
91110-TH	EMS 575T Twin Head Sputter Coater， complete with Target	台
91005	Rotary Vacuum Pump	个
92045	EMS 50 Water Chiller	个

EMS 550具有旋转样品台，可倾斜，适合各种样品。参数可预设，全自动控制保证获得精确的镀层厚度。低电压溅射、冷溅射、精细颗粒等功能的使用，大大提高了工作效率。腔室直径为165 mm（6英寸），非常方便装载及移走样品。仪器装有60mm直径、0.1mm厚的金靶（可选）。可选靶材包括金/钯，铂/钯和铂。各种功能都集中设计在仪表板上，使用方便，满足不同学科的用户使用要求。溅射参数可预设，包括气体放气针阀（此阀为电磁阀），一旦设置，就不需要再调节。溅射头互锁，系统可选配EMS250镀碳附件。

EMS 550本仪器为全自动操作，可控制独立的真空泵。EMS500是EMS550的手动版本，其样品台不带自动旋转功能，其它参数与EMS550*相同。下图为EMS550的外观图片：

性能特征：

旋转且可倾斜样品台
高质量镀层厚度（2nm 金膜）
精确的可重复性能
均匀沉积厚度
复合样本固定器
全自动控制
低耗冷却系统，无需冷却样本及样品台
低压溅射
20nm（或20埃）
微电子控制
聚碳酸酯安全壳体

仪器参数：

仪器尺寸	450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H）
工作腔室	硼硅酸盐玻璃: 165mm（Dia.） x 125mm（H）
安全罩	聚碳酸酯
重量	18Kg
靶材	60 mm 直径 x 0.1mm 厚（金靶为标准靶材）
样品台	60mm（Dia.），靶面距在25mm－45mm之间可调
真空泵工作范围	ATM-1x10^-2 mbar
溅射电流	0-50mA
溅射镀膜时间	0-4 minutes
沉积速率	0-25nm/分
电源配置	230 volts 50Hz （6 amp Max incl pump）

产品信息：

货号	产品名称	规格
91000	EMS 550 Sputter Coater complete with Target	台
91000-MA	EMS 500 Manual Sputter Coater	台
91005	Rotary Vacuum Pump Targets 60mm （Dia.） x 0.1mm （Thick） fitted inclusive as standard	个