MUEGGE磁控管、MUEGGE环流器、MUEGGE电源、MUEGGE波导元件
上海鸿源电气自动化有限公司优惠代理MUEGGE磁控管、MUEGGE环流器、MUEGGE电源、
MUEGGE波导元件
MUEGGE*致力于工业微波加热系统及相关微波元件的研发、生产工作，其工作频率分别为
915MHz和2450MHz，输出功率zui小300W，zui大可达100KW，我公司所有产品全部在室内安装、检
测；另外其可根据用户需求，为您量身订做特种的工业微波加热系统。
MUEGGE公司拥有30年工业微波产品的生产制造经验，始终为用户提供、zui*的技术及产品，
我们提供的微波电源、发生器全部由微电脑控制，可实现任何接口的通讯对接。
MUEGGE产品涵盖了从微波工业加热到等离子应用的多种工业场合，同时还可以为科研机构提供
设备。
3KW微控管总成3KW ME0118P-015AB3KW微控管3KW MB2658A-110EA2KW微波头2KW
MH2000S-218BB3KW微波头3KW MH3000S-222BB3KW 微波电源3KW MX3000X-125KL 微波电
源射频电源线，40.68MHZ 60.00MHZ 81.36 100HZ 100MHZ德国射频电源畜能器液压畜能器，液
压油缸MUEGGE微波等离子源/ PECVD/镀膜微波等离子PECVD
微波镀膜
微波等离子清洗
微波等离子蚀刻
MUEGGE微波发生器100KW100KW 915MHZ微波发生器MUEGGE微波电源微波电源，2450MHZ
20KWMUEGGE微波头 磁控管头紧促型微波头，适用于等离子行业的用户MUEGGE微波发生器
5KW915MHZ5KW 915MHZ 微波发生器
用于制药，木材烘干，陶瓷处理等R3T等离子蚀刻机/SU-8移除zui的快速等离子蚀刻技术：德国
R3T高速等离子蚀刻机
等离子蚀刻，干法蚀刻机，灰化，去胶，SU-8移除，应力消除，远程等离子源，MEMS（微机械零件
加工），等离子干法蚀刻，亲水性/斥水性改变，表面糙化处理。型号STP 2020，STP1010用于小样
板，＞20um/分钟
MUEGGE磁控管1260W- 2450 MHz
- 1260 W Power Output（matched load）
- Water-cooled anode - Packaged magnet
- Probe output - approx.: 70 % efficiency
UEGGE磁控管2M265-M12WJ3KW 水冷磁控管
MUEGGE磁控管TYPE: 2M130-71 （Hitachi）
2050 W CW Magnetron
MUEGGE磁控管75KWMagnetron
Large Power Magnetron -
For Industrial Applications
Ceramic-Metal Construction
75 kW at 915 MHz
All Magnetron Support Equipment Available
MUEGGE磁控管6KW?2450 MHz
?6000 W Power Output （matched load）
?Water-cooled anode
?Packaged e-magnet
?Probe output
MUEGGE水冷磁控管 3KWFEATURES:
- 2455 MHz （+/-15MHz）
- Highest S-band Power Output - 3000W
- 70% efficiency, typical
- Water-cooled anode
- Coaxial launch into WR-340
- permanent magnet
MUEGGE磁控管 MB2568A2KW磁控管，水冷
MUEGGE微波头 磁控管头- 2 kW HF-Power output
- Open mounted
- Int.filament transformer
- Int. magnetron, water cooled
- Int. Temperature switch
- Int. Isolator
- Int. Stub-TunerMUEGGE同轴微波发生器 300WHF-POWER : 300W CW / 500W Pulse
（0...*）
PULSEABLE : Up to 25kHz
FREQUENCY : 2,45GHz +-20MHzMUEGGE同轴微波发生器 500W- Continuous power control
- High efficiency
- Ripple <1% peak-to-peak
- Pulsable up to 25kHzMUEGGE微波等离子系统蚀刻率：
用于SU-8样板，＞20um/分钟
用于硅样板，可以达到90um/分钟
温度控制达到120℃
基板尺寸达到460mm*460mm
MUEGGE等离子设备各向同性蚀刻
对于SU8去除超过20um/min
对硅多种样品达90 um/min
对300mm晶片上光电保护层灰分达到10 um/min
SiN和BPSG：典型1 um/min
热氧化物：典型250 nm/min
MUEGGE3短截调谐器-功率：3 KW（zui大）
-频率：2450MHz，+/- 50 MHz
-调节量：电压驻波比（VSWR）10 （1KW）
MUEGGE自动调谐器-调节范围：VSWR<10:1
-调节精度：1%
-调节速度：1秒
MUEGGE环流器-隔离：26 dB
-输入功率：6000W
-反射功率：6000W
MUEGGE环流器微波隔离元件
-隔离：zui小23 dB
-输入功率：3000W cw
-反射功率：3000W cw
MUEGGE波导3短截调谐器 型号：MW2009A-260ED
工业微波源
调谐系统
MUEGGE等离子微波电源低压微波等离子源
实用的设计
小型化设计
广泛应用
高密度等离子体
高效率
损伤小
容易适配用户系统
MUEGGE微波等离子系统高频频率：2.45GHZ 尺寸：用户
915MHZ 材料：箱体：铝
5.8GHZ 气体簇射：铝
高频输入功率：典型2KW/m@100pa
等离子源：石英，Al2O3
处理压强：典型10pa—100pa 制冷：水冷/风冷结合
等离子体密度：达到1012/cm3@2.45GHZ
连接器：微波：同轴连接器
电子温度：~2ev
水：挤压
均匀性：优于5%
MUEGGE波导元件-角度：90度
-半径：100mm
-功率：30 KW
-频率：2.45GHz，+/- 30 MHz
-波导尺寸：WR340
-法兰：UDR26
-材料：铝
-表面处理：RAL 7035
-重量：500g
MUEGGE波导元件E型弯头—90度MUEGGE微波等离子系统微波等离子体CVD设备
高效硅基薄膜太阳能电池的PECVD设备
磁控溅射镀膜及PECVD设备
在PECVD沉积室主要用于射频增强
等离子气相沉积的方法制备各种薄膜。
MUEGGE大功率微波头2450MHZ 15KW 20KW 30KW
915MHZ 5KW 30KW 50KW 75KW 100KWMUEGGE微波头 磁控管头高频输出功率：1 KW/
2 KW/ 3 KW
频率：2.45GHz，+/- 20 MHz
冷却方式：水冷，zui大3升/分钟
-配备微波隔离器
重量：约17kgMUEGGE等离子微波电源输出：
连续波 1250W
连续波 2000W
连续波 300W
连续波 6000W
效率： 满输出功率时约90%
脉冲： 达到500HzMUEGGE低波微波电源-高频zui大功率输出3200W，脉冲工作模式
-频率范围200Hz-10kHz
MUEGGE脉冲微波电源脉冲微波电源：
CW 2KW 脉冲到4.5KW
CW3KW脉冲到10KW
50KW脉冲微波电源
-<1%的低波动率（波峰-波峰）
-脉冲上升时间（rise time）<10us
-脉冲回落时间（fall time）<10us
-功率波动率<1%
-脉冲衰减<1%MUEGGE标准微波电源标准微波电源功率有：
2450MHZ 1250W 2KW 3KW 6KW 10KW 15KW 20KW 30KW
915MHZ 5KW 30KW 50KW 60KW 75KW 100KW
5800MHZ 700WMUEGGE标准微波电源标准微波电源功率有：
2450MHZ 1250W 2KW 3KW 6KW 10KW 15KW 20KW 30KW
915MHZ 5KW 30KW 50KW 60KW 75KW 100KW
5800MHZ 700WMUEGGE LC电感微波电源电源的分类：
LC 电感电源，功率不可调
标准电源
脉冲电源
低波动率微波电源
MUEGGE LC电感微波电源电源的分类：
LC 电感电源，功率不可调
标准电源
脉冲电源
低波动率微波电源
MUEGGE磁控管工业用磁控管他三种频率：2450MHZ 915MHZ 5800MHZ
2450MHZ磁控管功率从300W-30KW
915MHZ磁控管的功率从5KW-100KW
5800MHZ磁控管的功率有两种：420W 750W MUEGGE MB2568A-120DP
MUEGGE MH2000S-218BB
MUEGGE MX4000X-111KL
MUEGGE MB2568A-111EA
MUEGGE ME0118P-015AB S/N:4101473
MUEGGE MB2658A-110EA
MUEGGE MB2658A-120BL
MUEGGE E3327
MUEGGE MB2658A-110EA
MUEGGE MB2568A-120CH
MUEGGE MH3000S-222BB
MUEGGE MEOU8P-015AB 3kw
MUEGGE电源 MX2000S-100XA
MT0850B-110HJ
MT1250B-102HE
MT2000B-110HE
MX015KE-100ME
MX020KE-100KE
MX030KE-100KE
MS010KE-500DE
MS030KE-500DE
MS075KE-510DE
MS100KE-510DE
MUEGGE波导元件 MW2000S-100XA
MW2014A-260FD
MW2015A-260FF
MW2016A-260FF
MW2100A-260FC
MW2001D-120ED
MW2003D-120ED
MW2005D-260ED
MW2009D-260ED
MUEGGE MB2568A-120DP
MUEGGE MH2000S-218BB
MUEGGE MX4000X-111KL
MUEGGE MB2568A-111EA
MUEGGE ME0118P-015AB S/N:4101473
MUEGGE MB2658A-110EA
MUEGGE MB2658A-120BL
MUEGGE E3327
MUEGGE MB2658A-110EA
MUEGGE MB2568A-120CH
MUEGGE MH3000S-222BB
MUEGGE MEOU8P-015AB 3kw
