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长春博盛量子科技
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LFHS2运动范围XY（m）75分辨率XY（nm）0
| | LFHS2 |
| 运动范围XY（µm） | 75 |
| 分辨率XY（nm） | 0,075 |
| 典型的噪声基准 XY（nm） | 0,0075 |
| 的重复性XY（nm） | 0,15 |
| 线性化（典型的） | 0,02% |
| 谐振频率X / Y（Hz） | 3000/2000 |
| 刚度 (N/µm) | 4/3 |
| 负载（kg）-水平使用 | 1 |
| 负载（kg）-垂直使用 | 0,5 |
| 传感器 | Silicon HR sensor |
| 尺寸W x L x H (mm) | 120,8 x 120,7 x 28,5 |
| 材料 | Al |
| 电缆长度（m） | 2 |
| 推荐控制器 | High Speed |
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