产品特色

● 数字化产品

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 可选高精度：可优于0.5%

● 可测范围广，0.01~99%

● 满量程超低压损为360Pa

● 响应时间快，优于10 ms

● 内置98种气体

● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

精度升级

量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度        ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取值）

质量流量高精度           ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取值）

重复性                         ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移       ± 0.03% 满量程 / ℃温差± 0.01% 满量程 / Atm压力差

质量流量量程漂移       ± 0.01% 读数 / ℃温差± 0.1 % 读数 / Atm压力差

技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考背面

                 一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程    从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

测量范围    0.01～99%

显示流量    128%满量程

显  示  屏    带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度    ± （0.8%读数 + 0.2%满量程）见上段精度升级部分

                  ± （0.4%读数 + 0.2%满量程）（可选）

累计流量精度    流量精度之外增加±0.5%额外误差

重  复  性    ±（0.2%读数+0.02%满量程）

质量流量温度漂移    0.03%满量程当温度从25℃起每变化1℃

质量流量压力漂移    ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）当压力从标定压力起，每变化1bar

响应时间    优于10 ms

预热时间    < 1 s

标定工况    25 ℃&1 Atm（可现场在测量范围内随意更改）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度    ± 0.75 ℃

工作湿度    0 ～ 95 %，无冷凝

工作压力    0.3 MPa表压，进出口允许瞬时压差70 Kpa

操作压力    如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；其他真空压力建议做特殊标定

压力精度    ±0.5%读数（读数＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@ 19200波特率；

                        模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输入/输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差

供电电压    7 - 30 VDC（如选4 - 20 mA输出，须为15 - 30 VDC）

供电电流    40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

电气接口    DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率（外漏）    选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材       质    302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询