产品特色

●  准确。流量校准具有NIST可溯源精度，适用于低至满量程1/200th的各种气体，还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。

●  高效。只要您打开62Q系列便携式高压气体质量流量计，便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。

●  耐用。62Q系列便携式高压气体质量流量计专为方便携带而设计，而且能够抵抗坠落带来的影响。

精度升级

量程为10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度          ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取值）

测量范围                        0.1 ~ 99%满量程

重复性                           ± 0.1%满量程

质量流量零点漂移         ± 0.01%满量程/ ℃温差

                                     ± 0.01%满量程/ Atm压力差

质量流量量程漂移         ± 0.01%读 数/ ℃温差

                                     ± 0.1 %读 数/ Atm压力差

技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考气体兼容表

                  一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程    从0 - 10 SCCM 到 0 - 3000 SLPM（）

测量范围    2～99%满量程

显示流量    128%满量程

显  示  屏    带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度    ± 2 % 满量程 精度升级见上段

累计流量精度    流量精度之外增加±0.5%额外误差

重  复  性    ± 0.2%满量程

质量流量温度漂移    0.02%满量程当温度从25 ℃起每变化1 ℃

质量流量压力漂移    ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）当压力从标定压力起，每变化1bar

响应时间    优于10 ms

预热时间    < 1 s

标定工况    25℃ & 1 Atm（可现场在测量范围内随意更改）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选低温选项）

温度精度    ± 0.75℃

充电温度    0 ～ 45 ℃

工作湿度    0 ～ 95 %，无冷凝

工作压力    2MPa表压，进出口允许瞬时压差500 KPa

操作压力    80 KPa绝压

压力精度    ±0.5%读数（读数＞1 Atm），或±0.07 PSIA（＜1Atm）

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@19200波特率

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输出信号    Micro-USB B（40 Hz at 19200 baud）

供电电压    5 VDC （Micro - USB - B）

电气接口    Micro-USB-B

泄漏率（外漏）    选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

续航时间    黑白屏 18小时，彩屏 5小时

材       质    303 & 302 不锈钢， Viton®，硅橡胶，增强型玻璃，热固性环氧树脂，铝，硅，金，玻璃。（可选主体铝材质）

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）