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液晶面板材料用表面缺陷检测设备介绍

2022年06月17日 10:35:11人气:572来源:秋山科技(东莞)有限公司

液晶面板材料用表面缺陷检测设备介绍

表面缺陷检测设备(一般)

 


应用流传已久的魔镜
(透光镜)原理,达成实时检测镜面平板基材表面状态的装置。受世界各地的矽晶圆厂所用。

非接触、非破坏性的检查,以及免维护的光学系统根据选配,可追加表面缺陷自动判定影像处理软体、自动化搬运装置、影像储存、影像列印等功能。

1、即时显示所有表面状态。

2、
光学系统对应等级1

3、学系统无须维护。


4、根据检测内容,可修正检测灵敏度。


询问此产品的型录

检测尺寸

φ100mm至φ300mm

检测内容

平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等

检测倍率

1x / 3x 模式可切换(标准设备)

检测灵敏度

检测灵敏度可连续调整

使用光源

550nm (固定照度之稳定光源)

镜头

高解析度CCD镜头

平台

手动平台(标准设备)


用途

 镜面晶圆的表面检测

 滑线检

 玻璃基板检测

 其他镜面基板检测
 

选配

 电动马达检测平移台

 自动判定缺陷影像处理装置

 影像列印机

 搬运装置

 

 

 
 
 
 
 
 
 
 
 

 

 

  
关键词:检测设备
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