苏州慧利仪器有限责任公司是一家致力于光机电软集成和系统设计一体化的光学精密测量仪器公司。公司创建于2009年3月,将国际领先的光学检测技术产业化和引领光学检测产业的发展潮流是慧利仪器的奋斗目标。
慧利仪器团队在光学检测领域具有三十多年的研发和工程化经验,完成过的国内外项目和产品包括:24英寸口径相移干涉仪的研制和应用、检测地球引力波项目(LIGO)中关键元件的超高精度干涉仪的研制和应用、检测芯片的技术和工程化、检测晶圆平面度和厚度变化的半导体专用设备的研制和应用等等。公司有产品数字化高精度激光干涉仪模块,并在此基础上形成了三种类型干涉仪,包括:无应力平面检测干涉仪、现场高效球面检测干涉仪、通用组合水平式干涉仪。
公司自成立以来,技术不断进步,产品持续更新,至今已有十余次产品迭代,仪器性能正在不断跃进新高峰。
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