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韩国MAT电加热水洗式尾气处理设备

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具体成交价以合同协议为准

产品型号MAT507BWA

品       牌

厂商性质经销商

所  在  地西安市

更新时间:2022-06-14 10:13:11浏览次数:1331次

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经营模式:经销商

商铺产品:3条

所在地区:陕西西安市

联系人:宋强伟 (销售)

产品简介

韩国MAT尾气处理设备(Scrubber)适用于:非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气.

处理的气体包括:SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。

详细介绍

 

韩国MAT尾气处理设备(Scrubber)适用于:非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气.         

 处理的气体包括:SiH4SiH2Cl2PH3B2H6TEOSH2CONF3SF6C2F6WF6NH3N2O 等。

主要有以下优点:

1. 整机设计美观, 安全标准。

2.拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。

3.操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用,性价比高

4.燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。


 System type
    Heat-Wet

Features
   * Easy Maintenance : Long PM term
   * Vertical structure : Strong for powder clogging
   * Reduced footprint
   * High performance

Capacity & Dimensions
    500SLM
   700mm(W)x850mm(D)x1610mm(H)

Utility
    Power(220V), CDA, N2, Water, Drain, Exhaust

关键词:电池 显示器
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