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韩国MAT尾气处理设备(Scrubber)适用于:非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气.
处理的气体包括:SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
韩国MAT尾气处理设备(Scrubber)适用于:非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气.
处理的气体包括:SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C
主要有以下优点:
1. 整机设计美观, 安全标准。
2.拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。
3.操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用,性价比高
4.燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。
Heat-Wet
* Easy Maintenance : Long PM term
* Vertical structure : Strong for powder clogging
* Reduced footprint
* High performance
500SLM
Power(220V), CDA, N2, Water, Drain, Exhaust
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商铺:https://www.hbzhan.com/st49165/
主营产品:特气柜GC,阀门箱VMB/VMP,气瓶架,尾气处理设备,全自动管管焊机,VCR接头,卡套接头,隔膜阀,调压阀,球阀,针阀,质量流量计
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