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上海添时科学仪器有限公司
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OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等离子增强化学气相沉积三温区回转管式炉系统（R-PECVD），等离子增强系统的引入可在相对较低的温度下实现粉末表面的包覆复合、核壳结构制备等工艺过程。自动进出料系统可实现连续生产，可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给和收集，包含射频电源（带自动匹配功能）、四通道质子流量计控制系统及真空泵系统，可由PLC触摸屏或PC电脑控制，使用方便快捷。
产品特点：
•炉体在0- 25°内倾斜，有利于粉末样品的装卸；
•齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性；
•四通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控；
•配备自动进出料系统可实现连续生产，可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给和收集。
加热炉参数：
三温区回转炉
•温度：1200℃（<30min）；连续工作温度：1100℃；
•三个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃;
•输入功率：208-240 V，单相，功率：4KW；
•高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗；
•回转炉旋转速度：2-10 rpm；
•炉体开启式设计以达到对样品快速降温，方便更换炉管。
射频电源：
真空系统：
•·采用TRP-12的双旋真空泵；
• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
•真空度可达10-2Torr。
供气系统（可选）：
•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）;
•流量范围：
•电压：208-240V， AC， 50/60Hz；
•气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;
•不锈钢针阀用于手动控制气体进出；
• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
产品尺寸和重量：
•设备尺寸： 2800mm L'800mm W'1700mm H
•供气系统：600mm L'700mm W'700mm H
•净重：180 kg
承诺：
一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件
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