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厌氧技术发展过程大致经历了三个阶段：
*阶段(1860-1899年)：简单的沉淀与厌氧发酵合池并行的初期发展阶段。这个发展阶段中，污水沉淀和污泥发酵集中在一个腐化池(俗称化粪池)中进行，泥水没有进行分离。
第二阶段(1899-1906年)：污水沉淀与厌氧发酵分层进行的发展阶段。
第三阶段(1906-2001年)：独立式营建的高级发展阶段。这个发展阶段中，沉淀池中的厌氧发酵室分离出来，建成独立工作的厌氧消化反应器。
与此相对应的是，厌氧生物处理技术的反应器主体也经历了三个时代。
*代厌氧反应器是以普通厌氧消化池(CADT)，厌氧接触工艺(ACP)为代表的低负荷系统。
第二代反应器是20世纪60年代末以在反应器内保持大量的活性污泥和足够长的污泥龄为目标，利用生物膜固定化技术和培养易沉淀厌氧污泥的方式开发出的。如厌氧滤器(AF)、厌氧流化床(AFB)、厌氧生物转盘(ARBCP)、上流式厌氧污泥床(IAASB)、厌氧附着膨胀床(AAFEB)等。其中UASB反应器为应用较广的反应器，在其为代表的第二代反应器的研究与应用的基础上开发出了新一代反应器。
第三代厌氧反应器是在将固体停留时间和水力停留时间相分离的前提下，使固液两相充分接触，从而既能保持大量污泥又能使废水和活性污泥之间充分混合、接触以达到真正高效的目的。目前研究较多的有：厌氧颗粒污泥膨胀床(EGSB)、厌氧内循环(IC)等。
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由于微生物能够通过自身的新陈代谢的生理功能，氧化分解环境中的有机物并将其转化为稳定的无机物，生物法处理废水就是利用微生物的这一功能，并采用一定的人工技术措施，使废水中的有机污染物得以降解，从而达到净化废水的目的。
生物法在废水处理中应用极广，尤其对于处理城市废水，但也由于微生物降解废水中的有机物质速度缓慢，这样废水就需较长的水力停留时间，从而导致废水的生物处理法一般都需要庞大的构筑物。况且，洗浴废水中还含有阴离子洗涤剂等难生物降解的物质。特别是洗浴废水中有机物含量较低，微生物所需要营养物质不足，微生物容易进行内源消耗，不利于启动过程中活性污泥及生物膜的培养驯化，给废水回用系统的运行管理增加了难度。
因此，目前用生物法回用处理洗浴水一般都考虑与其他技术结合。如上海宝刚公司的洗浴废水回用处理工艺，是以生物活性炭为住的处理方法，该工艺的日处理洗浴废水能力为500立方米/d ,处理量相当可观，处理后废水主要回用于绿化浇灌以及工业补充等用途。
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