【产品简介】
centrotherm c.VERTICOO 200为高批量生产和产能而设计，并具有高度的灵活性，适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺。优化的单管双舟传送系统，使搬运时间缩至最短，同时降低拥有成本与维修成本。
【适用工艺】
·退火
·氧化
·扩散
·LPCVD
【主要优点】
·每批加工量多达150片晶圆
·自对准
·双舟输送
·水冷加热匣
·占地面积小
·可以并排安装
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