大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如：氧化物，氮化物，光刻胶，高分子聚合物，半导体(硅，单晶硅，多晶硅)，半导体化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂层(碳化硅，类金刚石炭)，聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
Map薄膜厚度测绘仪用于测量厚度分布，评价薄膜厚度的均一性，可与所有MProble系列的薄膜测厚仪联用。
厚度测绘台包含：
1. XY电动载物台，行程：150mm/200mm/300mm
2. 19英寸铝制底座
3. 探头适配器
4. 载物台控制器
5. 厚度拼图软件
薄膜厚度分布图（厚度以颜色标示）：
厚度测绘软件：
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