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深圳市冬红科技有限公司
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HSR-8000共聚焦显微镜可对待测物的表面进行非接触式三维形貌扫描，获取2D/3D表面形貌、分析微观轮廓几何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等参数指标，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT/四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
1、高精度、高重复性
采用针孔，共聚焦光学系统、高稳定性结构设计、优异的3D重建算法组成测量系统保证测量精度高；
2、一体化操作的测量分析软件
1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能;
2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程;
3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程;
4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;
5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能;
6） 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
| 测量原理 | 针孔共聚焦光学系统 | |
| 显微物镜 | 10x,20x,50x,100x | |
| 视场范围 | 120x120㎛~1.2x1.2 mm | |
| 扫描帧率 | ≥4HZ | |
| 高度测量 | 重复性*1 | 20nm |
| 精度*1 | ±(0.2+L/100)㎛ | |
| 显示分辨率 | 0.5nm | |
| 宽度测量 | 重复性*2 | 40nm |
| 精度*2 | 2% | |
| 显示分辨率 | Inm | |
XY位移平台 | 尺寸 | 200×200mm |
| 移动范围 | 100×100mm | |
| 负载 | 10kg | |
| 控制方式 | 电动 | |
| Z0轴扫指 | 范围 | 10mm |
| Z0轴扫描步长 | 20nm-150nm | |
| Z向移动范围 | 100mm | |
| 物镜塔台 | 5孔电动 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 外形尺寸 | 540*379*594mm | |
| 总重量 | 45kg | |
| 工作电源 | AC 220V/50HZ | |
| 工作环境 | 温度10°C~35°C,温度梯度＜1°C/15分钟，湿度30-80%振动＜0.002g,低于15Hz | |
在环境温度20±2°C下用50X物鏡測量4.7㎛标准台阶样块。
在环境温度20±2°C下用50X物鏡测量标准刻线样板。
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